사이버옵틱스 코퍼레이션(www.cyberoptics.com)이 SEMICON Korea 2016 전시회에서 ‘웨이퍼센스(WaferSenseⓇ) 및 레티클센스 에어본 파티클 센서(ReticleSenseⓇAirborne Particle Sensor, 약칭 APS2) 기술’을 발표했다. APS2는 반도체 팹에서 부유 입자를 무선으로 실시간 모니터링 함으로써 반도체 장비의 체제와 장기적인 수율 향상에 도움을 준다. 무선 APS2 디바이스는 반도체 공정 장비와 자동화된 소재 처리 시스템 내의 부유 입자를 신속하게 모니터링하고 확인함으로써 그러한 입자를 0.14㎛ 이하로 낮출 수 있게 한다. 이를 통해 장비 및 공정 엔지니어들은 객관적이고 재생이 가능한 데이터를 갖고 장비의 검증 속도를 높이고 장비의 유지 보수 사이클을 단축하며 장비의 비용을 낮출 수 있다. 

사이버옵틱스는 이번 전시회에서 일체형 무선 실시간 디바이스의 레벨링(leveling), 진동 및 습도를 측정하는 웨이퍼센스 및 레티클센스 오토 멀티 센서(WaferSense and ReticleSense Auto Multi Sensors, 약칭 AMS/AMSR)도 시연했다. 폼팩터가 얇고 가벼운 AMS는 거의 모든 툴을 통해 움직일 수 있고 AMSR은 레티클 환경의 모든 위치에서 다수의 측정 수치를 포착할 수 있다.