ÀϹÝÀûÀ¸·Î, CMP ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Å©±â, ¼ö ¹× ¹è¿Àº CMP°¡ ¼öÇàµÇ´Â °¢°¢ÀÇ Ãþ¿¡¼ ÃÖÀûȵǵµ·Ï °áÁ¤µÈ´Ù. ±×·¯³ª ±Ù·¡¿¡ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º°¡ ´õ ¼ÒÇüȵʿ¡ µû¶ó, ÆÐÅÏÀÇ ´Ü¶ô ¹× ÆÄƼŬ(particle)°ú °°Àº °áÇÔÀ» °ËÃâÇϵµ·Ï ±¤ÇÐ °Ë»ç°¡ ¼öÇàµÇ´Â °æ¿ì¿¡, ¿©·¯ ¹®Á¦Á¡µéÀÌ ¹ß°ßµÇ¾ú´Ù. µð¹ÙÀ̽ºÀÇ ¼ÒÇüÈ·Î ÀÎÇØ ´õ ÀÛÀº °áÇÔ ¹× ÆÄƼŬÀ» °ËÃâÇØ¾ß ÇϹǷÎ, °ËÃâ °¨µµ¸¦ Áõ°¡½Ãų Çʿ䰡 ÀÖ´Ù. ±×·¯³ª °¢°¢ÀÇ Ãþ¿¡¼ ÃÖÀûȵǵµ·Ï ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀ» ¹è¿Çϱ⠶§¹®¿¡, °ËÃâ °¨µµ°¡ Áõ°¡ÇÏ´Â °æ¿ì¿¡´Â, »óºÎ ÃþÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅϰú ÇϺΠÃþÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ °£ÀÇ Â÷À̰¡ ¹«¾Æ·¹(°£¼· ÇÁ¸°Áö)·Î¼ ³ªÅ¸³¯ ¼öµµ ÀÖ´Ù.
±â¼ú ºÐ¾ß
º» ¹ß¸íÀº ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º ¹× ±× Á¦Á¶ ¹æ¹ý¿¡ °üÇÑ °ÍÀ¸·Î, »ó¼¼ÇϰԴÂ, CMP(Chemical Mechanical Polishing)¿¡ ÀÇÇÑ ÆòÅºÈ ÇÁ·Î¼¼½º¸¦ ÀÌ¿ëÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º ¹× ±× Á¦Á¶ ¹æ¹ý¿¡ °üÇÑ °ÍÀÌ´Ù.
CMP´Â ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽ºÀÇ Á¦Á¶ ½Ã °¢°¢ÀÇ ÃþÀÇ Ç¥¸éÀ» ÆòźÈÇϴµ¥ Á¾Á¾ ÀÌ¿ëµÈ´Ù. CMP ¿¡ ÀÇÇÑ ÆòÅºÈ ÇÁ·Î¼¼½º¿¡ ÀÖ¾î¼, CMP¸¦ À§ÇÑ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(ÀÌÇÏ, ‘CMP ´õ¹Ì ÆÐÅÏ’ ¶Ç´Â ´Ü¼øÈ÷ ‘´õ¹Ì ÆÐÅÏ(µé)’·Î ÁöεÊ)Àº µð½Ì(dishing)¹× ħ½ÄÀÇ ¹ß»ýÀ» ȸÇÇÇϵµ·Ï ¹è¿µÈ´Ù(ÀϺ» °ø°³Æ¯ÇãÃâ¿ø°øº¸ Á¦ 2006-39587 È£ ÂüÁ¶).
ÀϹÝÀûÀ¸·Î, CMP ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Å©±â, ¼ö ¹× ¹è¿Àº CMP°¡ ¼öÇàµÇ´Â °¢°¢ÀÇ Ãþ¿¡¼ ÃÖÀûȵǵµ·Ï °áÁ¤µÈ´Ù. ±×·¯³ª ±Ù·¡¿¡ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º°¡ ´õ ¼ÒÇüȵʿ¡ µû¶ó, ÆÐÅÏÀÇ ´Ü¶ô ¹× ÆÄƼŬ(particle)°ú °°Àº °áÇÔÀ» °ËÃâÇϵµ·Ï ±¤ÇÐ °Ë»ç°¡ ¼öÇàµÇ´Â °æ¿ì¿¡, ´ÙÀ½ ¹®Á¦Á¡µéÀÌ ¹ß°ßµÇ¾ú´Ù. Áï, µð¹ÙÀ̽ºÀÇ ¼ÒÇüÈ·Î ÀÎÇØ ´õ ÀÛÀº °áÇÔ ¹× ÆÄƼŬÀ» °ËÃâÇØ¾ß ÇϹǷÎ, °ËÃâ °¨µµ¸¦ Áõ°¡½Ãų Çʿ䰡 ÀÖ´Ù. ±×·¯³ª »ó¼úÇÑ ¹Ù¿Í °°ÀÌ °¢°¢ÀÇ Ãþ¿¡¼ ÃÖÀûȵǵµ·Ï ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀ» ¹è¿Çϱ⠶§¹®¿¡, °ËÃâ °¨µµ°¡ Áõ°¡ÇÏ´Â °æ¿ì¿¡´Â, »óºÎ ÃþÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅϰú ÇϺΠÃþÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ °£ÀÇ Â÷À̰¡ ¹«¾Æ·¹(°£¼· ÇÁ¸°Áö)·Î¼ ³ªÅ¸³¯ ¼öµµ ÀÖ´Ù. µû¶ó¼ °áÇÔ °Ë»ç¿¡ ÀÖ¾î¼, ±×·¯ÇÑ ¹«¾Æ·¹°¡ °áÇÔÀ¸·Î¼ °ËÃâµÉ ¼öµµ ÀÖ°í, ¹«¾Æ·¹¿¡ ÀÇÇÑ °áÇÔÀÌ ¿ø·¡ °ËÃâµÇ¾î¾ß ÇÒ °áÇÔ ¹× ÆÄƼŬ°ú È¥ÇÕµÉ ¼öµµ ÀÖ°í, ÀÌµé ¸ðµÎ°¡ °áÇÔÀ¸·Î¼ °ËÃâµÉ ¼öµµ ÀÖÀ¸¹Ç·Î, °áÇÔÀÇ ¼ö°¡ Áõ°¡ÇÏ°Ô µÈ´Ù. ÇÑÆí, °ËÃâ °¨µµ¸¦ °¨¼Ò½ÃÄÑ ¹«¾Æ·¹ÀÇ »ý¼ºÀ» ¹æÁöÇÏ´Â °æ¿ì¿¡´Â, ¹Ì¼¼ÇÑ ÆÄƼŬ ¹× °áÇÔÀ» °ËÃâÇÒ ¼ö ¾øÀ¸¹Ç·Î, ¼öÀ²ÀÌ °¨¼ÒµÈ´Ù.
¹ß¸íÀÇ ³»¿ë
°úÁ¦ÀÇ ÇØ°á ¼ö´Ü
ÀÏ ½Ç½ÃÇüÅ¿¡ ÀÖ¾î¼, ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ À§¿¡ Á¦°øµÇ¸ç, CMP¿¡ ÀÇÇØ ÆòźȵǴ Á¦ 1 ¹è¼± ÆÐÅÏ ¹× Á¦ 1 ¹è¼± ÆÐÅϰú µ¿ÀÏÇÑ Àç·á·Î ÀÌ·ç¾îÁø º¹¼öÀÇ Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀ» Æ÷ÇÔÇÏ´Â Á¦ 1 Ãþ; ¹× ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ À§¿¡ Á¦°øµÇ¸ç, CMP¿¡ ÀÇÇØ ÆòźȵǴ Á¦ 2 ¹è¼± ÆÐÅÏ ¹× Á¦ 2 ¹è¼± ÆÐÅϰú µ¿ÀÏÇÑ Àç·á·Î ÀÌ·ç¾îÁø º¹¼öÀÇ Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀ» Æ÷ÇÔÇÏ´Â Á¦ 2 ÃþÀ» Æ÷ÇÔÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º°¡ Á¦°øµÇ°í, Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ °¢°¢ÀÇ Á᫐ ÃàÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ¿¡ ¼öÁ÷ÀÎ ¹æÇâÀ¸·Î Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Áß ´ëÀÀÇÏ´Â ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Á᫐ Ãà°ú ÀÏÄ¡ÇÑ´Ù.
´Ù¸¥ ½Ç½ÃÇüÅ¿¡ ÀÖ¾î¼, ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ »ó¿¡ Á¦ 1 ¹× Á¦ 2 CMP¿¡ ÀÇÇØ ÆòźȵǴ Á¦ 1 Ãþ ¹× Á¦ 2 ÃþÀ» Çü¼ºÇÏ´Â ´Ü°è; ¹× Á¦ 1 ¹× Á¦ 2 ÃþÀ» Çü¼ºÇϱâ Àü¿¡, Á¦ 1 Ãþ¿¡ Çü¼ºµÇ´Â Á¦ 1 CMP¸¦ À§ÇÑ Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ ¼ö ¹× ¹è¿À» °áÁ¤ÇÏ´Â ´Ü°è; ¹× Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Á᫐ ÃàÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ¿¡ ¼öÁ÷ÀÎ ¹æÇâÀ¸·Î Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Á᫐ Ãà°ú ÀÏÄ¡Çϵµ·Ï Á¦ 2 Ãþ¿¡ Çü¼ºµÇ´Â Á¦ 2 CMP¸¦ À§ÇÑ Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ ¼ö ¹× ¹è¿À» °áÁ¤ÇÏ´Â ´Ü°è¸¦ Æ÷ÇÔÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽ºÀÇ Á¦Á¶ ¹æ¹ýÀÌ Á¦°øµÈ´Ù.
¹ß¸íÀÇ È¿°ú
º» ¹ß¸í¿¡ µû¸£¸é, Á¦ 1 Ãþ¿¡ Á¦°øµÇ´Â Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Á᫐ ÃàÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ¿¡ ¼öÁ÷ÀÎ ¹æÇâÀ¸·Î Á¦ 2 Ãþ¿¡ Á¦°øµÇ´Â Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Á᫐ Ãà°ú ÀÏÄ¡ÇÑ´Ù. µû¶ó¼ °áÇÔÀ» ±¤ÇÐÀûÀ¸·Î °ËÃâÇÒ ¶§¿¡, °ËÃâ °¨µµ°¡ Áõ°¡ÇÏ´Â °æ¿ì¿¡µµ, ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀ¸·Î ÀÎÇÑ ¹«¾Æ·¹¸¦ ¾ïÁ¦ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ´Ù¸¥ ¹æ¹ýÀ¸·Î´Â, ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀ¸·Î ÀÎÇÑ ¹«¾Æ·¹°¡ »ý¼ºµÇ´Â °æ¿ì¿¡µµ, ±× ¹«¾Æ·¹°¡ ±ÔÄ¢¼ºÀ» °®°í ÀÖ°í, ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀ¸·Î ÀÎÇÑ °ÍÀ¸·Î¼ °áÁ¤µÉ ¼ö ÀÖ´Ù. µû¶ó¼ ¹Ì¼¼ÇÑ ÆÄƼŬ°ú °áÇÔÀ» Á¤È®ÇÏ°Ô °ËÃâÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¹Ç·Î, ¼öÀ²À» °³¼±ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

¹ß¸íÀ» ½Ç½ÃÇϱâ À§ÇÑ ±¸Ã¼ÀûÀÎ ³»¿ë
ÀÌÇÏ, ÷ºÎµÈ µµ¸éÀ» ÂüÁ¶ÇÏ¿©, ¼ÒÁ¤ÀÇ ¹Ù¶÷Á÷ÇÑ ½Ç½ÃÇüÅÂÀÇ ´ÙÀ½ ¼³¸íÀ¸·ÎºÎÅÍ º» ¹ß¸íÀÇ »ó±â Ư¡ ¹× ÀÌÁ¡À» ´õ¿í ¸íÈ®ÇÏ°Ô ¾Ë ¼ö ÀÖ´Ù.
ù°·Î, ±×¸² 1¿¡ µµ½ÃµÈ È帧µµ¸¦ ÂüÁ¶ÇÏ¿©, º» ¹ß¸í¿¡ µû¸¥ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽ºÀÇ Á¦Á¶ ¹æ¹ý¿¡¼ ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇÏ´Â °øÁ¤À» °³³äÀûÀ¸·Î ¼³¸íÇÑ´Ù. ±×¸² 1¿¡ µµ½ÃµÈ ¹Ù¿Í °°ÀÌ, ù°·Î, °¢°¢ÀÇ ÃþÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ªÀ» ÃßÃâÇÑ´Ù(´Ü°è S1001). ±× ´ÙÀ½¿¡, ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÌ ¹ÐÁýµÇ¾î¾ß ÇÏ´Â ÀÓÀÇÀÇ ÃþÀÌ Á¸ÀçÇÏ´ÂÁö ¿©ºÎ¸¦ °áÁ¤ÇÑ´Ù(´Ü°è S1002). ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÌ ¹ÐÁýµÇ¾î¾ß ÇÏ´Â Ãþ(X·Î Ç¥½Ã)ÀÌ Á¸ÀçÇÏ´Â °æ¿ì¿¡ (¿¹), Ãþ X¿¡¼ ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÌ ¹ÐÁýµÇµµ·Ï ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ ¼ö ¹× ¹è¿À» °áÁ¤ÇÑ´Ù(´Ü°è S1003). ÇÑÆí, ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÌ ¹ÐÁýµÇ¾î¾ß ÇÏ´Â ÃþÀÌ Á¸ÀçÇÏÁö ¾Ê´Â °æ¿ì (¾Æ´Ï¿À), ¹Ì¸® ¼³Á¤µÈ ³ôÀº ¿ì¼±¼øÀ§¸¦ °®´Â ÃþÀ» Ãþ X·Î¼ °áÁ¤Çϰí, ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÌ ¹ÐÁýµÇµµ·Ï ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ ¼ö ¹× ¹è¿À» °áÁ¤ÇÑ´Ù(´Ü°è S1004). ´ÙÀ½À¸·Î, ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Á᫐ ÃàÀÌ Ãþ XÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Á᫐ Ãà°ú ÀÏÄ¡µÉ Çʿ䰡 ÀÖ´Â Ãþ Y°¡ Á¸ÀçÇÏ´ÂÁö ¿©ºÎ¸¦ °áÁ¤ÇÑ´Ù(´Ü°è S1005). ÀÏÄ¡µÉ Çʿ䰡 ÀÖ´Â Ãþ Y°¡ Á¸ÀçÇÏ´Â °æ¿ì¿¡ (¿¹), Ãþ XÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª°ú ÁßøÇÏ´Â Ãþ YÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ªÀÇ ÀϺθ¦ ÃßÃâÇÑ´Ù(´Ü°è S1006). ÇÑÆí, ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Á᫐ ÃàÀÌ Ãþ XÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Á᫐ Ãà°ú ÀÏÄ¡µÉ Çʿ䰡 ÀÖ´Â Ãþ Y°¡ Á¸ÀçÇÏÁö ¾Ê´Â °æ¿ì¿¡ (¾Æ´Ï¿À), »óºÎ Ãþ°ú ÇϺΠÃþ °£ÀÇ °ü°è¸¦ °í·ÁÇÔ ¾øÀÌ µ¶¸³ÀûÀ¸·Î °¢°¢ÀÇ Ãþ¿¡¼ ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ ¼ö ¹× ¹è¿À» °áÁ¤Çϰí(´Ü°è S1007), ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º °øÁ¤ÀÌ Á¾·áÇÑ´Ù.
´Ü°è S1006 ´ÙÀ½¿¡, ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÌ Ãþ XÀÇ ÀÏ ´õ¹Ì ÆÐÅϰú À¯»çÇϰí, ±× Á᫐ ÃàÀÌ Ãþ XÀÇ ÀÏ ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Á᫐ Ãà°ú ÀÏÄ¡Çϵµ·Ï, Ãþ YÀÇ ÃßÃâµÈ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª¿¡¼ ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ ¼ö ¹× ¹è¿À» °áÁ¤ÇÑ´Ù(´Ü°è S1008). ´ÙÀ½À¸·Î, °¢°¢ÀÇ ÃþÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª¿¡ ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀ» ¹è¿ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÀÓÀÇÀÇ ºÎºÐÀÌ Á¸ÀçÇÏ´ÂÁö ¿©ºÎ¸¦ °áÁ¤ÇÑ´Ù(´Ü°è S1009). ±×·¯ÇÑ ºÎºÐÀÌ ³²¾Æ ÀÖÁö ¾ÊÀº °æ¿ì¿¡ (¾Æ´Ï¿À), ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º °øÁ¤Àº Á¾·áÇÑ´Ù. ±×·¯ÇÑ ºÎºÐÀÌ ³²¾Æ ÀÖ´Â °æ¿ì¿¡ (¿¹), »óºÎ Ãþ°ú ÇϺΠÃþ °£ÀÇ °ü°è¸¦ °í·ÁÇÔ ¾øÀÌ µ¶¸³ÀûÀ¸·Î °¢°¢ÀÇ Ãþ¿¡¼ ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ ¼ö ¹× ¹è¿À» °áÁ¤ÇÑ´Ù(´Ü°è S1010). ´Ü°è S1009 ¹× S1010Àº ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀ» ¹è¿ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ¾î¶°ÇÑ ºÎºÐµµ Á¸ÀçÇÏÁö ¾ÊÀ» ¶§±îÁö ¹Ýº¹µÇ°í, ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀ» ¹è¿ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ºÎºÐÀÌ Á¦°øµÇÁö ¾Ê´Â °æ¿ì¿¡ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º °øÁ¤ÀÌ Á¾·áÇÑ´Ù.

ÀÌÇÏ, ÷ºÎµÈ µµ¸éÀ» ÂüÁ¶ÇÏ¿© º» ¹ß¸íÀÇ ¹Ù¶÷Á÷ÇÑ ½Ç½ÃÇüŸ¦ »ó¼¼È÷ ¼³¸íÇÑ´Ù. ±×¸² 2A ¹× 2B´Â º» ¹ß¸íÀÇ Á¦ 1 ½Ç½ÃÇüÅ¿¡ µû¸¥ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽ºÀÇ ±¸¼ºÀ» ¼³¸íÇÏ´Â µµ¸éÀ¸·Î¼, ±×¸² 2A´Â °³·«ÀûÀÎ ´Ü¸éµµÀ̰í, ±×¸² 2B´Â ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º¸¦ ±× »ó¸é¿¡¼ º¼ ¶§ÀÇ Æò¸éµµÀÌ´Ù. ´Ü¼øÈ¸¦ À§ÇØ, ±×¸² 2A¿¡´Â ´ÜÁö ¹è¼± ÆÐÅϰú CMP ´õ¹Ì ÆÐÅϸ¸ÀÌ µµ½ÃµÇ¾î ÀÖ°í, ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇÀ̳ª Ãþ°£ À¯Àüü¸· µîÀº »ý·«µÇ¾î ÀÖÀ¸¸ç, ±×¸² 2B¿¡´Â ´ÜÁö ´õ¹Ì ÆÐÅϸ¸ÀÌ µµ½ÃµÇ¾î ÀÖ´Ù.
±×¸² 2A ¹× 2B¿¡ µµ½ÃµÈ ¹Ù¿Í °°ÀÌ, Á¦ 1 ½Ç½ÃÇüÅ¿¡ µû¸¥ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º´Â ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ »ó¿¡ Á¦°øµÇ¸ç, CMP¿¡ ÀÇÇØ ÆòźȵǴ Á¦ 1 ¹è¼± ÆÐÅÏ(101w)¹× Á¦ 1 ¹è¼± ÆÐÅÏ(101w)°ú µ¿ÀÏÇÑ Àç·á·Î ÀÌ·ç¾îÁø º¹¼öÀÇ Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(101d)À» Æ÷ÇÔÇÏ´Â Á¦ 1 Ãþ(101), ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ »óÀÇ Á¦ 1 Ãþ(101)»ó¿¡ Á¦°øµÇ¸ç, CMP¿¡ ÀÇÇØ ÆòźȵǴ Á¦ 2 ¹è¼± ÆÐÅÏ(102w)¹× Á¦ 2 ¹è¼± ÆÐÅÏ(102w)°ú µ¿ÀÏÇÑ Àç·á·Î ÀÌ·ç¾îÁø º¹¼öÀÇ Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(102d)À» Æ÷ÇÔÇÏ´Â Á¦ 2 Ãþ(102)¹× ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ À§ÀÇ Á¦ 2 Ãþ(102)»ó¿¡ Á¦°øµÇ¸ç, CMP¿¡ ÀÇÇØ ÆòźȵǴ Á¦ 3 ¹è¼± ÆÐÅÏ(103w)¹× Á¦ 3 ¹è¼± ÆÐÅÏ(103w)°ú µ¿ÀÏÇÑ Àç·á·Î ÀÌ·ç¾îÁø º¹¼öÀÇ Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(103d)À» Æ÷ÇÔÇÏ´Â Á¦ 3 Ãþ(103)À» Æ÷ÇÔÇÑ´Ù.
°¢°¢ÀÇ Ãþ(101 ³»Áö 103)¿¡¼ ¹è¼± ÆÐÅÏ(101w ³»Áö 103w)ÀÌ Çü¼ºµÇÁö ¾Ê´Â ¿µ¿ªÀº ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(10A ¹× 10B)ÀÌ µÇ°í, ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(101d ³»Áö 103d)Àº °¢°¢ÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª¿¡ ¹è¿µÈ´Ù.
Á¦ 1 ½Ç½ÃÇüÅ¿¡ µû¸£¸é, Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(101d)Àº Á¦ 1 Ãþ(101)ÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(10A)¿¡ ¹ÐÁýµÇµµ·Ï ¹è¿µÈ´Ù. Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(102d)Àº, ±× Á᫐ ÃàÀÌ Á¡¼±À¸·Î µµ½ÃµÈ °Í°ú °°ÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ¿¡ ¼öÁ÷ÀÎ ¹æÇâÀ¸·Î Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(101d)Áß ´ëÀÀÇÏ´Â ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Á᫐ Ãà°ú ÀÏÄ¡Çϵµ·Ï ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(10A)¿¡ ¹è¿µÈ´Ù. ÀÌ¿Í À¯»çÇϰÔ, Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(103d)Àº, ±× Á᫐ ÃàÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ¿¡ ¼öÁ÷ÀÎ ¹æÇâÀ¸·Î Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(101d)Áß ´ëÀÀÇÏ´Â ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Á᫐ Ãà°ú ÀÏÄ¡Çϵµ·Ï ¹è¿µÈ´Ù.
Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(101d)ÀÌ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(10B)¿¡ Çü¼ºµÇÁö ¾Ê±â ¶§¹®¿¡, Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(102d)Àº ¿µ¿ª(10B)¿¡ ¹ÐÁýµÇµµ·Ï ¹è¿µÈ´Ù. Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(103d)Àº, ±× Á᫐ ÃàÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ¿¡ ¼öÁ÷ÀÎ ¹æÇâÀ¸·Î Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(102d)Áß ´ëÀÀÇÏ´Â ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Á᫐ Ãà°ú ÀÏÄ¡Çϵµ·Ï ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(10B)¿¡ ¹è¿µÈ´Ù.
ÀÌ¿Í °°Àº ±¸¼ºÀ» °¡ÁüÀ¸·Î½á, ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(101d ³»Áö 103d)ÀÌ ¼·Î ÁßøµÇ´Â(¼·Î ´ëÀÀÇÏ´Â)°æ¿ì¿¡, ±×¸² 2B¿¡ µµ½ÃµÈ °Í°ú °°ÀÌ, ±× Á᫐ ÃàÀº Ç×»ó ¼·Î ÀÏÄ¡ÇÑ´Ù. µû¶ó¼ ±¤ÇÐÀûÀ¸·Î °áÇÔÀ» °ËÃâÇÒ ¶§¿¡ °ËÃâ °¨µµ°¡ Áõ°¡ÇÏ´Â °æ¿ì¿¡µµ, ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀ¸·Î ÀÎÇÑ ¹«¾Æ·¹ÀÇ »ý¼ºÀ» ¹æÁöÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
µû¶ó¼ ¹Ì¼¼ÇÑ ÆÄƼŬ ¹× °áÇÔÀ» Á¤È®È÷ °ËÃâÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¹Ç·Î, ¼öÀ²À» °³¼±ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

ÀÌÇÏ, ±×¸² 2A, 2B ¹× ±×¸² 3À» ÂüÁ¶ÇÏ¿©, Á¦ 1 ½Ç½ÃÇüÅ¿¡ µû¸¥ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽ºÀÇ Á¦Á¶ ¹æ¹ýÀ» ¼³¸íÇÑ´Ù.
±×¸² 3Àº Á¦ 1 ½Ç½ÃÇüÅ¿¡ µû¸¥ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽ºÀÇ Á¦Á¶ ¹æ¹ýÀ» ¼³¸íÇÏ´Â È帧µµ·Î¼, ±×¸² 2A ¹× 2B¿¡ µµ½ÃµÈ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(100)¿¡ ÃþÀ» Çü¼ºÇϱâ Àü¿¡ Á¦ 1 Ãþ ³»Áö Á¦ 3 Ãþ(101 ³»Áö 103)¿¡¼ÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(101d ³»Áö 103d)ÀÇ ¼ö ¹× ¹è¿À» °áÁ¤ÇÏ´Â ÇÁ·Î¼¼½º¸¦ µµ½ÃÇÑ´Ù.
ù°·Î, ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(10A ¹× 10B)À» ÃßÃâÇÑ´Ù(´Ü°è S11). ±× ´ÙÀ½¿¡, Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(101d)ÀÌ ¹ÐÁý ±¸Á¶¸¦ °¡Á®¾ß ÇÏ´Â Á¦ 1 Ãþ(101)À» Æ÷ÇÔÇÑ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(10A)¿¡ ¹ÐÁýµÇµµ·Ï, Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(101d)ÀÇ ¼ö ¹× ¹è¿À» °áÁ¤ÇÑ´Ù(´Ü°è S12). ±× ´ÙÀ½¿¡, Á¦ 2 Ãþ(102)¿¡ Çü¼ºµÇ´Â Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(102d)ÀÇ Á᫐ ÃàÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ¿¡ ¼öÁ÷ÀÎ ¹æÇâÀ¸·Î °¢°¢ Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(101d)ÀÇ Á᫐ Ãà°ú ÀÏÄ¡Çϵµ·Ï, Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(101d)ÀÇ ¹è¿¿¡ ±âÃÊÇÏ¿© Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(102d)ÀÇ ¼ö ¹× ¹è¿À» °áÁ¤ÇÑ´Ù(´Ü°è S13). ¶ÇÇÑ, Á¦ 3 Ãþ(103)¿¡ Çü¼ºµÇ´Â Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(103d)ÀÇ Á᫐ ÃàÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ¿¡ ¼öÁ÷ÀÎ ¹æÇâÀ¸·Î °¢°¢ Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(101d)ÀÇ Á᫐ Ãà°ú ÀÏÄ¡Çϵµ·Ï, Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(101d)ÀÇ ¹è¿¿¡ ±âÃÊÇÏ¿© Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(103d)ÀÇ ¼ö ¹× ¹è¿À» °áÁ¤ÇÑ´Ù(´Ü°è S14). Áï, ±×¸² 2AÀÇ ¿µ¿ª(10A)¿¡¼ È»ìÇ¥·Î µµ½ÃµÈ °Í°ú °°ÀÌ, Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(101d)ÀÇ À§Ä¡(Á᫐ Ãà)°¡ Á¦ 2 Ãþ(102)¿¡ º¹Á¦µÉ ¼ö ÀÖ°í, ±× º¹Á¦µÈ À§Ä¡¿¡ Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(102d)À» ¹èÄ¡ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °æ¿ì¿¡, Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(102d)À» ¹è¿ÇÑ´Ù. ÀÌ¿Í À¯»çÇϰÔ, Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(101d)ÀÇ À§Ä¡(Á᫐ Ãà)°¡ Á¦ 3 Ãþ(103)¿¡ º¹Á¦µÉ ¼ö ÀÖ°í, ±× º¹Á¦µÈ À§Ä¡¿¡ Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(103d)À» ¹èÄ¡ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °æ¿ì¿¡, Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(103d)À» ¹è¿ÇÑ´Ù.
´ÙÀ½À¸·Î, Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(102d)ÀÌ ¹ÐÁýµÇµµ·Ï, ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(10B)¿¡¼ Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(102d)ÀÇ ¼ö ¹× ¹è¿À» °áÁ¤ÇÑ´Ù(´Ü°è S15). ±× ´ÙÀ½¿¡, Á¦ 3 Ãþ(103)¿¡ Çü¼ºµÇ´Â Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(103d)ÀÇ Á᫐ ÃàÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ¿¡ ¼öÁ÷ÀÎ ¹æÇâÀ¸·Î °¢°¢ Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(102d)ÀÇ Á᫐ Ãà°ú ÀÏÄ¡Çϵµ·Ï, Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(102d)ÀÇ ¹è¿¿¡ ±âÃÊÇÏ¿© Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(103d)ÀÇ ¼ö ¹× ¹è¿À» °áÁ¤ÇÑ´Ù(´Ü°è S16). Á¦ 2 ÃþÀÌ ¹ÐÁý ±¸Á¶¸¦ °®´õ¶óµµ, Á¦ 2 Ãþ¿¡ ºñÇØ Á¦ 3 ÃþÀÇ Æòźµµ°¡ Å©°Ô ¿ä±¸µÇ´Â °æ¿ì¿¡, Á¦ 3 ÃþÀº ¹ÐÁý ±¸Á¶¸¦ °¡Áú ¼ö ÀÖ°í, Á¦ 3 Ãþ¿¡ ±âÃÊÇÏ¿© Á¦ 2 Ãþ(102)ÀÇ Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(102d)ÀÇ ¼ö ¹× ¹è¿À» °áÁ¤ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ³¡À¸·Î, Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(103d)ÀÌ ³²Àº ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(10Br)¿¡ Çü¼ºµÉ ¼ö Àֱ⠶§¹®¿¡, Ãß°¡·Î Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(103d)À» Çü¼ºÇÑ´Ù(´Ü°è S17).

»ó¼úÇÑ ¹Ù¿Í °°ÀÌ, °¢°¢ÀÇ Ãþ¿¡ Çü¼ºµÇ´Â ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ ¼ö ¹× ¹è¿À» °áÁ¤ÇÑ´Ù. °¢°¢ÀÇ Ãþ¿¡ Çü¼ºµÇ´Â ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Æò¸é ±¸¼ºÀÌ Á¦ 1 ½Ç½ÃÇüÅÂ¿Í µ¿ÀÏÇÑ Å©±â¸¦ °®´õ¶óµµ, °¢°¢ÀÇ ÃþÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Å©±â´Â ¼³°è Ç¥ÁØ¿¡ µû¶ó °¢°¢ÀÇ Ãþ¿¡¼ ÀûÀýÈ÷ ¼³Á¤µÉ ¼ö ÀÖ´Ù. ±×·¯ÇÑ ¿¹´Â ±×¸² 4A ¹× 4B¿¡ µµ½ÃµÇ¾î ÀÖ´Ù.
±×¸² 4A ¹× 4B´Â Á¦ 1 ½Ç½ÃÇüÅÂÀÇ º¯Çü ¿¹¿¡ µû¸¥ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(100m)ÀÇ ±¸¼ºÀ» ¼³¸íÇÏ´Â µµ¸éÀ¸·Î¼, ±×¸² 4A´Â °³·«ÀûÀÎ ´Ü¸éµµÀ̰í, ±×¸² 4B´Â ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(100m)¸¦ ±× »ó¸é¿¡¼ º¼ ¶§ÀÇ Æò¸éµµÀÌ´Ù. ´Ü¼øÈ¸¦ À§ÇØ, ±×¸² 4A¿¡´Â ´ÜÁö ¹è¼± ÆÐÅϰú CMP ´õ¹Ì ÆÐÅϸ¸ÀÌ µµ½ÃµÇ¾î ÀÖ°í, ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇÀ̳ª Ãþ°£ À¯Àüü¸· µîÀº »ý·«µÇ¾î ÀÖÀ¸¸ç, ±×¸² 4B´Â ´ÜÁö ´õ¹Ì ÆÐÅϸ¸À» µµ½ÃÇϰí ÀÖ´Ù. ±×¸² 2A ¹× 2B¿¡ µµ½ÃµÈ °Í°ú µ¿ÀÏÇÑ ±×¸² 4A ¹× 4BÀÇ ±¸¼º ¿ä¼Ò´Â µ¿ÀÏ ÂüÁ¶ºÎÈ£·Î Ç¥½ÃµÇ°í, ±× ¼³¸íÀº »ý·«µÈ´Ù.
±×¸² 4A ¹× 4B¿¡ µµ½ÃµÈ °Í°ú °°ÀÌ, Á¦ 1 Ãþ(101m)ÀÇ Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(101md), Á¦ 2 Ãþ(102m)ÀÇ Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(102md)¹× Á¦ 3 Ãþ(103m)ÀÇ Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(103md)Àº ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(100m)¿¡ ÀÖ¾î¼ »óÀÌÇÑ Æò¸é Å©±â¸¦ °®°í ÀÖ°í, »óÀÌÇÑ Å©±â¸¦ °®´Â Á¤»ç°¢ÇüÀÌ´Ù. µû¶ó¼ Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ ³»Áö Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(101md ³»Áö 103md)Àº, ±× Á᫐ ÃàÀÌ ¼·Î ÀÏÄ¡Çϵµ·Ï ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(10A)¿¡ ¹è¿µÈ´Ù. Á¦ 2 ¹× Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(102md ¹× 103md)Àº, ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(100)¿Í °°ÀÌ ±× Á᫐ ÃàÀÌ ¼·Î ÀÏÄ¡Çϵµ·Ï ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(10B)¿¡ ¹è¿µÈ´Ù.
±×·¯³ª Æò¸éµµ¿¡ µû¸£¸é, ±×¸² 2B¿Í ´Þ¸®, ±× ÆÐÅϵéÀº ¼·Î ¿ÏÀüÈ÷ ÀÏÄ¡Çϵµ·Ï ÁßøµÇÁö´Â ¾Ê´Â´Ù. ±× ´ë½Å¿¡, ±×¸² 4B¿¡ µµ½ÃµÈ °Í°ú °°ÀÌ µ¿ÀÏÇÑ Á᫐ ÃàÀ» °®µµ·Ï, »óÀÌÇÑ Å©±â¸¦ °®´Â ÆÐÅϵéÀÌ ÁßøµÈ´Ù.
´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Æò¸é ±¸¼ºÀº Á¤»ç°¢Çü¿¡ ÇÑÁ¤µÇÁö ¾Ê°í, Á÷»ç°¢ÇüÀÏ ¼ö ÀÖ°í, ½ÉÁö¾î ´Ù°¢ÇüÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù. »óºÎ Ãþ°ú ÇϺΠÃþÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÌ ¼·Î À¯»çÇÑ °ÍÀÌ ¹Ù¶÷Á÷ÇÏ´Ù´Â °Í¿¡ ÁÖ¸ñÇÏÀÚ. »óºÎ Ãþ°ú ÇϺΠÃþÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Á᫐ ÃàÀÌ ¼·Î ÀÏÄ¡ÇÏ´Â °æ¿ì¿¡, »óºÎ ÃþÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Å©±â°¡ ÇϺΠÃþÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Å©±â¿Í »óÀÌÇÏ´õ¶óµµ, ¼·Î ÁßøµÉ ¶§ÀÇ »óºÎ ÆÐÅϰú ÇϺΠÆÐÅÏ °£ÀÇ Â÷ÀÌ(¿¹¸¦ µé¾î, ¼öÁ÷ ¹æÇâ°ú ¼öÆò ¹æÇâÀÇ Â÷ÀÌ)´Â ¼·Î ÀÏÄ¡ÇÏ´Â °ÍÀÌ ¹Ù¶÷Á÷ÇÏ´Ù. Á¤»ç°¢Çü ÆÐÅÏÀº ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÌ È¿À²ÀûÀ¸·Î ÆÐÅ·µÇ´Â °ÍÀ» °¡´ÉÇÏ°Ô Çϴµ¥, Áï, ¹ÐÁýµÇ´Â °ÍÀ» °¡´ÉÇÏ°Ô ÇÑ´Ù. µû¶ó¼ Ĩ ³»ÀÇ ¹Ðµµ¸¦ ³ôÀº Á¤¹Ðµµ·Î º¸Á¤ÇÒ ¼ö ÀÖ°í, CMP ÀÇ Æ¯Â¡ÀÎ µð½Ì ¹× ħ½ÄÀ» º¸´Ù È¿À²ÀûÀ¸·Î ¾ïÁ¦ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀÌ¿Í °°Àº ±¸¼ºÀ» °®´Â ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(100m)¿¡ µû¸£¸é, ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(101md ³»Áö 103md)ÀÌ ¼·Î ÁßøµÇ´Â °æ¿ì¿¡, ±× Á᫐ ÃàÀÌ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(100)¿Í °°ÀÌ ¼·Î ÀÏÄ¡ÇÑ´Ù. µû¶ó¼ ±¤ÇÐÀûÀ¸·Î °áÇÔÀ» °ËÃâÇÒ ¶§¿¡ °ËÃâ °¨µµ°¡ Áõ°¡ÇÏ´õ¶óµµ, ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀ¸·Î ÀÎÇÑ ¹«¾Æ·¹ÀÇ »ý¼ºÀ» ¾ïÁ¦ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
±×¸² 4A ¹× 4B¿¡ µµ½ÃµÈ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(100m)ÀÇ Á¦Á¶ ¹æ¹ýÀº ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(100)ÀÇ Á¦Á¶ ¹æ¹ý°ú µ¿ÀÏÇϱ⠶§¹®¿¡, ±× ¼³¸íÀº »ý·«µÈ´Ù.
Á¦ 1 Ãþ(101; 101m)¿¡ Çü¼ºµÇ´Â Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(101d; 101md)ÀÌ ¹ÐÁýµÇ´Â °æ¿ì¸¦ Á¦ 1 ½Ç½ÃÇüÅÂÀÇ ÀÏ ¿¹·Î¼ ¼³¸íÇÏ¿´Áö¸¸, ¹ÐÁý ±¸Á¶¸¦ °¡Á®¾ß ÇÏ´Â ÃþÀº µð¹ÙÀ̽ºÀÇ ¼³°è Ç¥ÁØ¿¡ µû¶ó »óÀÌÇÏ´Ù. ¹Ù´Ú ÃþÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀ» Ç×»ó ¹ÐÁý½Ãų ÇÊ¿ä´Â ¾ø´Ù. µð¹ÙÀ̽ºÀÇ ¼³°è °ü¸®¸é¿¡¼ ¾ö°ÝÇÑ Àǹ̷Π¿ä±¸µÇ´Â Æòźµµ¸¦ °®´Â ÃþÀ» ¹ÐÁý ±¸Á¶¸¦ °®´Â °ÍÀ¸·Î °áÁ¤ÇÑ´Ù. µû¶ó¼ º» ¹ß¸íÀÇ Á¦ 2 ½Ç½ÃÇüÅ´ ±×¸² 5A, 5B ¹× ±×¸² 6À» ÂüÁ¶ÇÏ¿© Á¦ 2 ÃþÀÌ ¹ÐÁý ±¸Á¶¸¦ °®´Â °æ¿ì¸¦ ¼³¸íÇÑ´Ù.

±×¸² 5A ¹× 5B´Â Á¦ 2 ½Ç½ÃÇüÅ¿¡ µû¸¥ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(200)ÀÇ ±¸¼ºÀ» ¼³¸íÇÏ´Â µµ¸éÀ¸·Î¼, ±×¸² 5A´Â °³·«ÀûÀÎ ´Ü¸éµµÀ̰í, ±×¸² 5B´Â ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(200)¸¦ ±× »ó¸é¿¡¼ º¼ ¶§ÀÇ Æò¸éµµÀÌ´Ù. ´Ü¼øÈ¸¦ À§ÇØ, ±×¸² 5A¿¡´Â ´ÜÁö ¹è¼± ÆÐÅϰú CMP ´õ¹Ì ÆÐÅϸ¸ÀÌ µµ½ÃµÇ¾î ÀÖ°í, ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇÀ̳ª Ãþ°£ À¯Àüü¸· µîÀº »ý·«µÇ¾î ÀÖÀ¸¸ç, ±×¸² 5B´Â ´ÜÁö ´õ¹Ì ÆÐÅϸ¸À» µµ½ÃÇϰí ÀÖ´Ù.
±×¸² 5A ¹× 5B¿¡ µµ½ÃµÈ °Í°ú °°ÀÌ, Á¦ 2 ½Ç½ÃÇüÅ¿¡ µû¸¥ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(200)´Â ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ »ó¿¡ Á¦°øµÇ¸ç, CMP¿¡ ÀÇÇØ ÆòźȵǴ Á¦ 1 ¹è¼± ÆÐÅÏ(201w)¹× Á¦ 1 ¹è¼± ÆÐÅÏ(201w)°ú µ¿ÀÏÇÑ Àç·á·Î ÀÌ·ç¾îÁø º¹¼öÀÇ Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(201d)À» Æ÷ÇÔÇÏ´Â Á¦ 1 Ãþ(201), ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ »óÀÇ Á¦ 1 Ãþ(201)»ó¿¡ Á¦°øµÇ¸ç, CMP¿¡ ÀÇÇØ ÆòźȵǴ Á¦ 2 ¹è¼± ÆÐÅÏ(202w)¹× Á¦ 2 ¹è¼± ÆÐÅÏ(202w)°ú µ¿ÀÏÇÑ Àç·á·Î ÀÌ·ç¾îÁø º¹¼öÀÇ Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(202d)À» Æ÷ÇÔÇÏ´Â Á¦ 2 Ãþ(202)¹× ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ À§ÀÇ Á¦ 2 Ãþ(202)»ó¿¡ Á¦°øµÇ¸ç, CMP¿¡ ÀÇÇØ ÆòźȵǴ Á¦ 3 ¹è¼± ÆÐÅÏ(203w)¹× Á¦ 3 ¹è¼± ÆÐÅÏ(203w)°ú µ¿ÀÏÇÑ Àç·á·Î ÀÌ·ç¾îÁø º¹¼öÀÇ Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(203d)À» Æ÷ÇÔÇÏ´Â Á¦ 3 Ãþ(203)À» Æ÷ÇÔÇÑ´Ù.
°¢°¢ÀÇ Ãþ(201 ³»Áö 203)¿¡¼ ¹è¼± ÆÐÅÏ(201w ³»Áö 203w)ÀÌ Çü¼ºµÇÁö ¾Ê´Â ¿µ¿ªÀº ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(20A ¹× 20B)ÀÌ µÇ°í, ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(201d ³»Áö 203d)Àº °¢°¢ÀÇ ¿µ¿ª¿¡ ¹è¿µÈ´Ù. Á¦ 2 ½Ç½ÃÇüÅ¿¡ µû¸£¸é, Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(202d)Àº Á¦ 2 Ãþ(202)ÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(20A ¹× 20B)¿¡ ¹ÐÁýµÇµµ·Ï ¹è¿µÈ´Ù.
Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(201d)Àº, ±× Á᫐ ÃàÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ¿¡ ¼öÁ÷ÀÎ ¹æÇâÀ¸·Î Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(202d)Áß ´ëÀÀÇÏ´Â ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Á᫐ Ãà°ú ÀÏÄ¡Çϵµ·Ï ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(20A)¿¡ ¹è¿µÈ´Ù. ÀÌ¿Í À¯»çÇϰÔ, Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(203d)Àº, ±× Á᫐ ÃàÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ¿¡ ¼öÁ÷ÀÎ ¹æÇâÀ¸·Î Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(202d)Áß ´ëÀÀÇÏ´Â ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Á᫐ Ãà°ú ÀÏÄ¡Çϵµ·Ï ¹è¿µÈ´Ù. ÀÌ¿Í °°Àº ±¸¼ºÀ» °¡ÁüÀ¸·Î½á, ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(201d ³»Áö 203d)ÀÌ ¼·Î ÁßøµÇµµ·Ï ¹è¿µÇ´Â °æ¿ì¿¡, ±×¸² 5B¿¡ µµ½ÃµÈ °Í°ú °°ÀÌ ±× Á᫐ ÃàÀÌ Ç×»ó ¼·Î ÀÏÄ¡ÇÑ´Ù. µû¶ó¼ Á¦ 2 ½Ç½ÃÇüÅ´ Á¦ 1 ½Ç½ÃÇüÅÂ¿Í µ¿ÀÏÇÑ È¿°ú¸¦ ´Þ¼ºÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀÌÇÏ, ±×¸² 5A, 5B ¹× ±×¸² 6À» ÂüÁ¶ÇÏ¿©, Á¦ 2 ½Ç½ÃÇüÅ¿¡ µû¸¥ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(200)ÀÇ Á¦Á¶ ¹æ¹ýÀ» ¼³¸íÇÑ´Ù.
±×¸² 6Àº Á¦ 2 ½Ç½ÃÇüÅ¿¡ µû¸¥ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(200)ÀÇ Á¦Á¶ ¹æ¹ýÀ» ¼³¸íÇÏ´Â È帧µµ·Î¼, ±×¸² 5A ¹× 5B¿¡ µµ½ÃµÈ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(200)¿¡ ÃþÀ» Çü¼ºÇϱâ Àü¿¡ Á¦ 1 Ãþ ³»Áö Á¦ 3 Ãþ(201 ³»Áö 203)ÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(201d ³»Áö 203d)ÀÇ ¼ö ¹× ¹è¿À» °áÁ¤ÇÏ´Â ÇÁ·Î¼¼½º¸¦ µµ½ÃÇÑ´Ù.
ù°·Î, ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(20A ¹× 20B)À» ÃßÃâÇÑ´Ù(´Ü°è S21). ±× ´ÙÀ½¿¡, Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(202d)ÀÌ ¹ÐÁý ±¸Á¶¸¦ °¡Á®¾ß ÇÏ´Â Á¦ 2 Ãþ(202)À» Æ÷ÇÔÇÑ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(20A ¹× 20B)¿¡ ¹ÐÁýµÇµµ·Ï, Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(202d)ÀÇ ¼ö ¹× ¹è¿À» °áÁ¤ÇÑ´Ù(´Ü°è S22). Á¦ 1 Ãþ(201)¿¡ Çü¼ºµÇ´Â Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(201d)ÀÇ Á᫐ ÃàÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ¿¡ ¼öÁ÷ÀÎ ¹æÇâÀ¸·Î °¢°¢ Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(202d)ÀÇ Á᫐ Ãà°ú ÀÏÄ¡Çϵµ·Ï, Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(202d)ÀÇ ¹è¿¿¡ ±âÃÊÇÏ¿© Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(201d)ÀÇ ¼ö ¹× ¹è¿À» °áÁ¤ÇÑ´Ù(´Ü°è S23). ¶ÇÇÑ, Á¦ 3 Ãþ(203)¿¡ Çü¼ºµÇ´Â Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(203d)ÀÇ Á᫐ ÃàÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ¿¡ ¼öÁ÷ÀÎ ¹æÇâÀ¸·Î °¢°¢ Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(202d)ÀÇ Á᫐ Ãà°ú ÀÏÄ¡Çϵµ·Ï, Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(202d)ÀÇ ¹è¿¿¡ ±âÃÊÇÏ¿© Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(203d)ÀÇ ¼ö ¹× ¹è¿À» °áÁ¤ÇÑ´Ù(´Ü°è S24). Áï, ±×¸² 5AÀÇ ¿µ¿ª(20A)ÀÇ È»ìÇ¥¿¡ ÀÇÇØ µµ½ÃµÈ °Í°ú °°ÀÌ, Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(202d)ÀÇ À§Ä¡(Á᫐ Ãà)°¡ Á¦ 1 Ãþ(201)¿¡ º¹Á¦µÉ ¼ö ÀÖ°í, ±× º¹Á¦µÈ À§Ä¡¿¡ Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(201d)À» ¹èÄ¡ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °æ¿ì¿¡, Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(201d)À» ¹è¿ÇÑ´Ù. ÀÌ¿Í À¯»çÇϰÔ, ±×¸² 5AÀÇ ¿µ¿ª(20A ¹× 20B)ÀÇ È»ìÇ¥¿¡ ÀÇÇØ µµ½ÃµÈ °Í°ú °°ÀÌ, Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(202d)ÀÇ À§Ä¡(Á᫐ Ãà)°¡ Á¦ 3 Ãþ(203)¿¡ º¹Á¦µÉ ¼ö ÀÖ°í, ±× º¹Á¦µÈ À§Ä¡¿¡ Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(203d)À» ¹èÄ¡ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °æ¿ì¿¡, Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(203d)À» ¹è¿ÇÑ´Ù. ³²Àº ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(20Br)¿¡ Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(203d)À» Çü¼ºÇÒ ¼ö Àֱ⠶§¹®¿¡, Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(203d)À» Ãß°¡·Î Çü¼ºÇÑ´Ù(´Ü°è S25).
Á¦ 1 ½Ç½ÃÇüÅÂ¿Í Á¦ 2 ½Ç½ÃÇüÅ¿¡¼´Â ¹è¼± ÆÐÅÏÀÌ Çü¼ºµÇ´Â ¹è¼± Ãþ¿¡ CMP ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀ» Çü¼ºÇÏ´Â °æ¿ì¸¦ ¼³¸íÇÏ¿´Áö¸¸, CMP ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀº ´ÜÁö ¹è¼± Ãþ¿¡¸¸ Çü¼ºµÉ ÇÊ¿ä´Â ¾ø´Ù. º» ¹ß¸íÀÇ Á¦ 3 ½Ç½ÃÇüÅ´ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ¿¡ Á¦°øµÇ´Â ¼ÒÀÚ ºÐ¸® ¿µ¿ªÀ¸·Î¼ STI(Shallow Trench Isolation)¿µ¿ª¿¡ CMP ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÌ Á¦°øµÇ´Â °æ¿ì¸¦ ¼³¸íÇÑ´Ù.

±×¸² 7A ¹× 7B´Â Á¦ 3 ½Ç½ÃÇüÅ¿¡ µû¸¥ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(300)¸¦ ¼³¸íÇÏ´Â µµ¸éÀ¸·Î¼, ±×¸² 7A´Â °³·«ÀûÀÎ ´Ü¸éµµÀ̰í, ±×¸² 7B´Â ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(300)¸¦ ±× »ó¸é¿¡¼ º¼ ¶§ÀÇ Æò¸éµµÀÌ´Ù. ´Ü¼øÈ¸¦ À§ÇØ, ±×¸² 7A¿¡´Â Ãþ°£ À¯Àüü¸· µîÀº »ý·«µÇ¾î ÀÖÀ¸¸ç, ±×¸² 7B´Â ´ÜÁö ´õ¹Ì ÆÐÅϸ¸À» µµ½ÃÇϰí ÀÖ´Ù.
±×¸² 7A ¹× 7B¿¡ µµ½ÃµÈ °Í°ú °°ÀÌ, Á¦ 3 ½Ç½ÃÇüÅ¿¡ µû¸¥ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(300)´Â ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ(303)»ó¿¡ Á¦°øµÇ¸ç, CMP¿¡ ÀÇÇØ ÆòźȵǴ Á¦ 1 ¹è¼± ÆÐÅÏ(301w)¹× Á¦ 1 ¹è¼± ÆÐÅÏ(301w)°ú µ¿ÀÏÇÑ Àç·á·Î ÀÌ·ç¾îÁø º¹¼öÀÇ Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(301d)À» Æ÷ÇÔÇÏ´Â Á¦ 1 Ãþ(301), ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ »óÀÇ Á¦ 1 Ãþ(301)»ó¿¡ Á¦°øµÇ¸ç, CMP¿¡ ÀÇÇØ ÆòźȵǴ Á¦ 2 ¹è¼± ÆÐÅÏ(302w)¹× Á¦ 2 ¹è¼± ÆÐÅÏ(302w)°ú µ¿ÀÏÇÑ Àç·á·Î ÀÌ·ç¾îÁø º¹¼öÀÇ Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(302d)À» Æ÷ÇÔÇÏ´Â Á¦ 2 Ãþ,(302)¹× °¢°¢ÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ(303)ÀÇ ¼ÒÀÚ ºÐ¸® ¿µ¿ª(303i) ³»ÀÇ ³ÐÀº STI ¿µ¿ª(303t)°ú ±× STI ¿µ¿ª(303t)³»ÀÇ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ(303)ÀÇ ÀϺηΠÇü¼ºµÇ´Â º¹¼öÀÇ Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(303d)À» Æ÷ÇÔÇÑ´Ù.
Á¦ 1 ¹× Á¦ 2 Ãþ(301 ¹× 302)¿¡ ¹è¼± ÆÐÅÏ(301w ¹× 302w)ÀÌ Çü¼ºµÇÁö ¾Ê´Â ¿µ¿ªÀº ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(30A ¹× 30B)ÀÌ µÈ´Ù. ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ(303)ÀÇ ³ÐÀº STI ¿µ¿ª(303t)ÀÇ ¾ÈÂÊ ºÎºÐÀº ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º °¡´É¿µ¿ª(30A)ÀÌ µÈ´Ù. ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(301d ³»Áö 303d)Àº °¢°¢ÀÇ ¿µ¿ª¿¡ ¹è¿µÈ´Ù. Á¦ 3 ½Ç½ÃÇüÅ¿¡ µû¸£¸é, Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(301d)Àº Á¦ 1 Ãþ(301)ÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(30A)¿¡ ¹ÐÁýµÇµµ·Ï ¹è¿µÈ´Ù.
Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(302d)Àº, ±× Á᫐ ÃàÀÌ Á¡¼±¿¡ ÀÇÇØ µµ½ÃµÈ °Í°ú °°ÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ(303)¿¡ ¼öÁ÷ÀÎ ¹æÇâÀ¸·Î Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(301d)Áß ´ëÀÀÇÏ´Â ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Á᫐ Ãà°ú ÀÏÄ¡Çϵµ·Ï ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(30A)¿¡ ¹è¿µÈ´Ù. ÀÌ¿Í À¯»çÇϰÔ, Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(303d)Àº, ±× Á᫐ ÃàÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ(303)¿¡ ¼öÁ÷ÀÎ ¹æÇâÀ¸·Î Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(301d)Áß ´ëÀÀÇÏ´Â ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Á᫐ Ãà°ú ÀÏÄ¡Çϵµ·Ï ¹è¿µÈ´Ù. Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(301d)ÀÌ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(30B)¿¡ Çü¼ºµÇÁö ¾Ê±â ¶§¹®¿¡, Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(302d)Àº ÀÌ ¿µ¿ª¿¡ ¹ÐÁýµÇµµ·Ï ¹è¿µÈ´Ù.
°¢°¢ÀÇ ¹è¼± Ãþ¿¡ Á¦°øµÇ´Â ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(301d ¹× 302d)»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ(303)¿¡ Á¦°øµÇ´Â ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(303d)µµ, ±×¸² 7B¿¡ µµ½ÃµÈ °Í°ú °°ÀÌ Á¦ 3 ½Ç½ÃÇüÅ¿¡¼ ¼·Î ÁßøµÇ´Â °æ¿ì¿¡, µ¿ÀÏÇÑ Á᫐ ÃàÀ» °®´Â´Ù. µû¶ó¼ Á¦ 3 ½Ç½ÃÇüÅ´ ¶ÇÇÑ Á¦ 1 ½Ç½ÃÇüÅ ¹× Á¦ 2 ½Ç½ÃÇüÅÂ¿Í µ¿ÀÏÇÑ È¿°ú¸¦ ´Þ¼ºÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

ÀÌÇÏ, ±×¸² 7A, 7B ¹× ±×¸² 8À» ÂüÁ¶ÇÏ¿©, Á¦ 3 ½Ç½ÃÇüÅ¿¡ µû¸¥ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(300)Á¦Á¶ ¹æ¹ýÀ» ¼³¸íÇÑ´Ù. ±×¸² 8Àº Á¦ 3 ½Ç½ÃÇüÅ¿¡ µû¸¥ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(300)ÀÇ Á¦Á¶ ¹æ¹ýÀ» ¼³¸íÇÏ´Â È帧µµ·Î¼, ±×¸² 7A ¹× 7B ¿¡ µµ½ÃµÈ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(300)¿¡ °¢°¢ÀÇ Ãþ ¹× ¼ÒÀÚ ºÐ¸® ¿µ¿ªÀ» Çü¼ºÇϱâ Àü¿¡ Á¦ 1 ¹× Á¦ 2 Ãþ(301 ¹× 302)°ú ¼ÒÀÚ ºÐ¸® ¿µ¿ª(303i)ÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(301d ³»Áö 303d)ÀÇ ¼ö ¹× ¹è¿À» °áÁ¤ÇÏ´Â ÇÁ·Î¼¼½º¸¦ µµ½ÃÇÑ´Ù.
ù°·Î, ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(30A ¹× 30B)À» ÃßÃâÇÑ´Ù(´Ü°è S31). ´ÙÀ½À¸·Î, Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(301d)ÀÌ ¹ÐÁýµÇµµ·Ï, ¹ÐÁý ±¸Á¶¸¦ °¡Á®¾ß ÇÏ´Â Á¦ 1 Ãþ(301)À» Æ÷ÇÔÇÏ´Â ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(30A)¿¡¼ Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(301d)ÀÇ ¼ö ¹× ¹è¿À» °áÁ¤ÇÑ´Ù(´Ü°è S32). ±× ´ÙÀ½¿¡, Á¦ 2 Ãþ(302)¿¡ Çü¼ºµÇ´Â Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(302d)ÀÇ Á᫐ ÃàÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ(303)¿¡ ¼öÁ÷ÀÎ ¹æÇâÀ¸·Î °¢°¢ Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(301d)ÀÇ Á᫐ Ãà°ú ÀÏÄ¡Çϵµ·Ï, Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(301d)ÀÇ ¹è¿¿¡ ±âÃÊÇÏ¿© Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(302d)ÀÇ ¼ö ¹× ¹è¿À» °áÁ¤ÇÑ´Ù.(´Ü°è S33). ±× ´ÙÀ½¿¡, ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ(303)¿¡ Çü¼ºµÇ´Â Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(303d)ÀÇ Á᫐ ÃàÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ(303)¿¡ ¼öÁ÷ÀÎ ¹æÇâÀ¸·Î °¢°¢ Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(301d)ÀÇ Á᫐ Ãà°ú ÀÏÄ¡Çϵµ·Ï, Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(301d)ÀÇ ¹è¿¿¡ ±âÃÊÇÏ¿© Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(303d)ÀÇ ¼ö ¹× ¹è¿À» °áÁ¤ÇÑ´Ù(´Ü°è S34). Áï, ±×¸² 7AÀÇ ¿µ¿ª(30A)¿¡¼ È»ìÇ¥·Î µµ½ÃµÈ °Í°ú °°ÀÌ, Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(301d)ÀÇ À§Ä¡(Á᫐ Ãà)°¡ Á¦ 2 Ãþ(302)¿¡ º¹Á¦µÉ ¼ö ÀÖ°í, ±× º¹Á¦µÈ À§Ä¡¿¡ Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(302d)À» ¹èÄ¡ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °æ¿ì¿¡, Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀ» ¹è¿ÇÑ´Ù. ÀÌ¿Í À¯»çÇϰÔ, Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(301d)ÀÇ À§Ä¡(Á᫐ Ãà)°¡ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ(303)¿¡ º¹Á¦µÉ ¼ö ÀÖ°í, ±× º¹Á¦µÈ À§Ä¡¿¡ °¢°¢ Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(303d)À» ¹èÄ¡ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °æ¿ì¿¡, Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀ» ¹è¿ÇÑ´Ù. ³¡À¸·Î, Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÌ ¹ÐÁýµÇµµ·Ï, ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(30B)¿¡¼ Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(302d)ÀÇ ¼ö ¹× ¹è¿À» °áÁ¤ÇÑ´Ù(´Ü°è S35).

´ÙÀ½À¸·Î, ±×¸² 9A, 9B ¹× ±×¸² 10À» ÂüÁ¶ÇÏ¿©, º» ¹ß¸íÀÇ Á¦ 4 ½Ç½ÃÇüÅ´ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ »ó¿¡ ºÒÅõ°ú¼º¸·ÀÌ Á¦°øµÇ´Â °æ¿ì¸¦ ¼³¸íÇÑ´Ù. ±×¸² 9A ¹× 9B´Â Á¦ 4 ½Ç½ÃÇüÅ¿¡ µû¸¥ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(400)ÀÇ ±¸¼ºÀ» ¼³¸íÇÏ´Â µµ¸éÀ¸·Î¼, ±×¸² 9A´Â °³·«ÀûÀÎ ´Ü¸éµµÀ̰í, ±×¸² 9B´Â ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(400)¸¦ ±× »ó¸é¿¡¼ º¼ ¶§ÀÇ Æò¸éµµÀÌ´Ù. ´Ü¼øÈ¸¦ À§ÇØ, ±×¸² 9A¿¡´Â ´ÜÁö ¹è¼± ÆÐÅϰú CMP ´õ¹Ì ÆÐÅϸ¸ÀÌ µµ½ÃµÇ¾î ÀÖ°í, ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇÀ̳ª Ãþ°£ À¯Àüü¸· µîÀº »ý·«µÇ¾î ÀÖÀ¸¸ç, ±×¸² 9B´Â ´ÜÁö ´õ¹Ì ÆÐÅϸ¸À» µµ½ÃÇϰí ÀÖ´Ù.
±×¸² 9A ¹× 9B¿¡ µµ½ÃµÈ °Í°ú °°ÀÌ, Á¦ 4 ½Ç½ÃÇüÅ¿¡ µû¸¥ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(400)´Â ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ »ó¿¡ Á¦°øµÇ¸ç, CMP¿¡ ÀÇÇØ ÆòźȵǴ Á¦ 1 ¹è¼± ÆÐÅÏ(401w) ¹× Á¦ 1 ¹è¼± ÆÐÅÏ(401w)°ú µ¿ÀÏÇÑ Àç·á·Î ÀÌ·ç¾îÁø º¹¼öÀÇ Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(401d)À» Æ÷ÇÔÇÏ´Â Á¦ 1 Ãþ(401), ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ »óÀÇ Á¦ 1 Ãþ(401)»ó¿¡ Á¦°øµÇ¸ç, CMP¿¡ ÀÇÇØ ÆòźȵǴ Á¦ 2 ¹è¼± ÆÐÅÏ(402w)¹× Á¦ 2 ¹è¼± ÆÐÅÏ(402w)°ú µ¿ÀÏÇÑ Àç·á·Î ÀÌ·ç¾îÁø º¹¼öÀÇ Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(402d)À» Æ÷ÇÔÇÏ´Â Á¦ 2 Ãþ(402), ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ°ú Á¦ 1 Ãþ »çÀÌ¿¡ Á¦°øµÇ¸ç, CMP¿¡ ÀÇÇØ ÆòźȵǴ Á¦ 3 ¹è¼± ÆÐÅÏ(403w)¹× Á¦ 3 ¹è¼± ÆÐÅÏ(403w)°ú µ¿ÀÏÇÑ Àç·á·Î ÀÌ·ç¾îÁø º¹¼öÀÇ Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(403d)À» Æ÷ÇÔÇÏ´Â Á¦ 3 Ãþ(403)¹× Á¦ 3 Ãþ(403)°ú Á¦ 1 Ãþ(401)»çÀÌÀÇ ºÒÅõ°ú¼º¸·(410)À» Æ÷ÇÔÇÑ´Ù. ºÒÅõ°ú¼º¸·(410)ÀÇ ¿¹·Î´Â Àý¿¬¸·À¸·Î¼ ÀÌ¿ëµÇ´Â ºñÁ¤Áú ź¼Ò¿Í Ä¿ÆÐ½ÃÅÍ¿ë ÆÇ Àü±ØÀ¸·Î¼ ÀÌ¿ëµÇ´Â ±Ý¼Ó¸·ÀÌ ÀÖ´Ù.
°¢°¢ÀÇ Ãþ(401 ³»Áö 403)¿¡¼ ¹è¼± ÆÐÅÏ(401w ³»Áö 403w)ÀÌ Çü¼ºµÇÁö ¾Ê´Â ¿µ¿ªÀº ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(40A ¹× 40B)ÀÌ µÇ°í, ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(401d ³»Áö 403d)Àº °¢°¢ÀÇ ¿µ¿ª¿¡ ¹è¿µÈ´Ù. Á¦ 4 ½Ç½ÃÇüÅ¿¡ µû¸£¸é, Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(401d)Àº Á¦ 1 Ãþ(401)ÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(40A ¹× 40B)¿¡ ¹ÐÁýµÇµµ·Ï ¹è¿µÈ´Ù. Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(402d)Àº, ±× Á᫐ ÃàÀÌ Á¡¼±¿¡ ÀÇÇØ µµ½ÃµÈ °Í°ú °°ÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ¿¡ ¼öÁ÷ÀÎ ¹æÇâÀ¸·Î Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(401d) Áß ´ëÀÀÇÏ´Â ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Á᫐ Ãà°ú ÀÏÄ¡Çϵµ·Ï, ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(40A ¹× 40B)¿¡ ¹è¿µÈ´Ù.
ÇÑÆí, ºÒÅõ°ú¼º¸·(410)¾Æ·¡ÀÇ Á¦ 3 Ãþ(403)¿¡¼, Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(403d)Àº Á¦ 1 ¹× Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(401d ¹× 402d)ÀÇ ¹è¿¿¡ ±âÃÊÇÏÁö ¾Ê°í ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(40A)¿¡ ¹ÐÁýµÇµµ·Ï ¹è¿µÈ´Ù. ÀÌ´Â, °Ë»ç ±¤ÀÌ ºÒÅõ°ú¼º¸·(410)À» ÅëÇØ Àü´ÞµÇÁö ¾ÊÀ¸¹Ç·Î ºÒÅõ°ú¼º¸·(410)¾Æ·¡ÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÌ ±¤ÇÐ °áÇÔ °Ë»çÀÇ °á°ú¿¡ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡Áö ¾Ê±â ¶§¹®ÀÌ´Ù. µû¶ó¼ Á¦ 3 Ãþ(403)ÀÇ Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(403d)ÀÇ ¼ö ¹× ¹è¿Àº Á¦ 1 ¹× Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(401d ¹× 402d)¿¡ °ü°è¾øÀÌ °áÁ¤µÉ ¼ö ÀÖ´Ù. µû¶ó¼ ±×¸² 9B¿¡ µµ½ÃµÈ °Í°ú °°ÀÌ, Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(401d)¹× Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(402d)ÀÌ ¼·Î ÁßøµÇµµ·Ï ¹è¿µÇ´Â °æ¿ì¿¡, ±× Á᫐ ÃàÀº Ç×»ó ¼·Î ÀÏÄ¡ÇÑ´Ù. Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(403d)Àº, ±× Á᫐ ÃàÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ¿¡ ¼öÁ÷ÀÎ ¹æÇâÀ¸·Î(Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(403d)ÀÌ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(401d) »ó¿¡¼ Àû¾îµµ ºÎºÐÀûÀ¸·Î ÁßøµÇ´Â °æ¿ì¿¡) Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(401d) Áß ´ëÀÀÇÏ´Â ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Á᫐ ÃàÀ¸·ÎºÎÅÍ ½ÃÇÁÆ®µÇµµ·Ï ¹è¿µÈ´Ù. ÀÌ¿Í °°Àº ±¸¼ºÀ» °¡ÁüÀ¸·Î½á, °áÇÔÀ» ±¤ÇÐÀûÀ¸·Î °ËÃâÇÒ ¶§¿¡ ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀ¸·Î ÀÎÇÑ ¹«¾Æ·¹ÀÇ »ý¼ºÀ» ¹æÁöÇÒ ¼ö ÀÖ°í, ºÒÅõ°ú¼º¸·(410)¾Æ·¡ÀÇ Ãþ¿¡ ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀ» ¹è¿ÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¹Ç·Î CMP¿¡ ÀÇÇÑ Æòźµµ°¡ ´õ¿í °³¼±µÈ´Ù.
ÀÌÇÏ, ±×¸² 9A, 9B ¹× ±×¸² 10À» ÂüÁ¶ÇÏ¿©, Á¦ 4 ½Ç½ÃÇüÅ¿¡ µû¸¥ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(400)ÀÇ Á¦Á¶ ¹æ¹ýÀ» ¼³¸íÇÑ´Ù.
±×¸² 10Àº Á¦ 4 ½Ç½ÃÇüÅ¿¡ µû¸¥ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(400)ÀÇ Á¦Á¶ ¹æ¹ýÀ» ¼³¸íÇÏ´Â È帧µµ·Î¼, ±×¸² 9A ¹× 9B ¿¡ µµ½ÃµÈ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(400)¿¡ ÃþÀ» Çü¼ºÇϱâ Àü¿¡ Á¦ 1 Ãþ ³»Áö Á¦ 3 Ãþ(401 ³»Áö 403)¿¡¼ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(401d ³»Áö 403d)ÀÇ ¼ö ¹× ¹è¿À» °áÁ¤ÇÏ´Â ÇÁ·Î¼¼½º¸¦ µµ½ÃÇÑ´Ù.
ù°·Î, ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(40A ¹× 40B)À» ÃßÃâÇÑ´Ù(´Ü°è S41). ±× ´ÙÀ½¿¡, Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(401d)ÀÌ ¹ÐÁýµÇµµ·Ï, ¹ÐÁý ±¸Á¶¸¦ °¡Á®¾ß ÇÏ´Â Á¦ 1 Ãþ(401)ÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(40A ¹× 40B)¿¡¼ Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(401d)ÀÇ ¼ö ¹× ¹è¿À» °áÁ¤ÇÑ´Ù(´Ü°è S42). ±× ´ÙÀ½¿¡, Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(402d)ÀÇ Á᫐ ÃàÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ¿¡ ¼öÁ÷ÀÎ ¹æÇâÀ¸·Î °¢°¢ Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(401d)ÀÇ Á᫐ Ãà°ú ÀÏÄ¡Çϵµ·Ï, Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(401d)ÀÇ ¹è¿¿¡ ±âÃÊÇÏ¿© Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(402d)ÀÇ ¼ö ¹× ¹è¿À» °áÁ¤ÇÑ´Ù(´Ü°è S43). ±× ´ÙÀ½¿¡, Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(403d)ÀÌ ¹ÐÁýµÇµµ·Ï, Á¦ 3 ÃþÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(40A)¿¡¼ Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(403d)ÀÇ ¼ö ¹× ¹è¿À» °áÁ¤ÇÑ´Ù(´Ü°è S44). ³¡À¸·Î, ³²Àº ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(40Br)¿¡ Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(402d)À» Çü¼ºÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¹Ç·Î, ±× ¿µ¿ª¿¡ Ãß°¡·Î Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(402d)À» Çü¼ºÇÑ´Ù(´Ü°è S45).
Á¦ 1 ½Ç½ÃÇüÅ ³»Áö Á¦ 4 ½Ç½ÃÇüÅ¿¡¼´Â °¢°¢ÀÇ ÃþÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Á᫐ ÃàÀÌ ¼·Î ÀÏÄ¡ÇÏ¿´Áö¸¸, ±× Á᫐ ÃàÀÌ ¼·Î ÀÏÄ¡ÇÒ ÇÊ¿ä´Â ¾ø´Ù. ´ÙÀ½À¸·Î, º» ¹ß¸íÀÇ Á¦ 5 ½Ç½ÃÇüÅ´ Á᫐ ÃàÀÌ ¼·Î ÀÏÄ¡ÇÏÁö ¾Ê´Â ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀ» Æ÷ÇÔÇÏ´Â ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º¸¦ ¼³¸íÇÑ´Ù.

±×¸² 11A ¹× 11B´Â Á¦ 5 ½Ç½ÃÇüÅ¿¡ µû¸¥ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(500)ÀÇ ±¸¼ºÀ» ¼³¸íÇÏ´Â µµ¸éÀ¸·Î¼, ±×¸² 11A´Â °³·«ÀûÀÎ ´Ü¸éµµÀ̰í, ±×¸² 11B´Â ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(500)¸¦ ±× »ó¸é¿¡¼ º¼ ¶§ÀÇ Æò¸éµµÀÌ´Ù. ´Ü¼øÈ¸¦ À§ÇØ, ±×¸² 11A¿¡´Â ´ÜÁö ¹è¼± ÆÐÅϰú CMP ´õ¹Ì ÆÐÅϸ¸ÀÌ µµ½ÃµÇ¾î ÀÖ°í, ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇÀ̳ª Ãþ°£ À¯Àüü¸· µîÀº »ý·«µÇ¾î ÀÖÀ¸¸ç, ±×¸² 11B ´Â ´ÜÁö ´õ¹Ì ÆÐÅϸ¸À» µµ½ÃÇϰí ÀÖ´Ù.
±×¸² 11A ¹× 11B¿¡ µµ½ÃµÈ °Í°ú °°ÀÌ, Á¦ 5 ½Ç½ÃÇüÅ¿¡ µû¸¥ ¹ÝµµÃ¼ µð¹ÙÀ̽º(500)´Â ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ »ó¿¡ Á¦°øµÇ¸ç, CMP¿¡ ÀÇÇØ ÆòźȵǴ Á¦ 1 ¹è¼± ÆÐÅÏ(501w)¹× Á¦ 1 ¹è¼± ÆÐÅÏ(501w)°ú µ¿ÀÏÇÑ Àç·á·Î ÀÌ·ç¾îÁø º¹¼öÀÇ Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(501d)À» Æ÷ÇÔÇÏ´Â Á¦ 1 Ãþ(501), ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ »óÀÇ Á¦ 1 Ãþ(501)»ó¿¡ Á¦°øµÇ¸ç, CMP¿¡ ÀÇÇØ ÆòźȵǴ Á¦ 2 ¹è¼± ÆÐÅÏ(502w)¹× Á¦ 2 ¹è¼± ÆÐÅÏ(502w)°ú µ¿ÀÏÇÑ Àç·á·Î ÀÌ·ç¾îÁø º¹¼öÀÇ Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(502d)À» Æ÷ÇÔÇÏ´Â Á¦ 2 Ãþ(502) ¹× ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ À§ÀÇ Á¦ 2 Ãþ(502)»ó¿¡ Á¦°øµÇ¸ç, CMP¿¡ ÀÇÇØ ÆòźȵǴ Á¦ 3 ¹è¼± ÆÐÅÏ(503w) ¹× Á¦ 3 ¹è¼± ÆÐÅÏ(503w)°ú µ¿ÀÏÇÑ Àç·á·Î ÀÌ·ç¾îÁø º¹¼öÀÇ Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(503d)À» Æ÷ÇÔÇÏ´Â Á¦ 3 Ãþ(503)À» Æ÷ÇÔÇÑ´Ù.
°¢°¢ÀÇ Ãþ(501 ³»Áö 503)¿¡ ¹è¼± ÆÐÅÏ(501w ³»Áö 503w)ÀÌ Çü¼ºµÇÁö ¾Ê´Â ¿µ¿ªÀÌ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(50A ¹× 50B)ÀÌ µÇ°í, ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(501d ³»Áö 503d)ÀÌ °¢°¢ÀÇ ¿µ¿ª¿¡ ¹è¿µÈ´Ù. Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(501d)Àº Á¦ 1 Ãþ(501)ÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(50A)¿¡ ¹ÐÁýµÇµµ·Ï ¹è¿µÈ´Ù. Á÷»ç°¢Çü Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(502d)Àº Á¦ 5 ½Ç½ÃÇüÅ¿¡ µû¶ó Á¦ 2 Ãþ(502)ÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(50A)¿¡ ¹è¿µÈ´Ù.(Á¡¼±À¸·Î µµ½ÃµÈ)Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(502d)ÀÇ Á᫐ ÃàÀº(Á¡¼±À¸·Î µµ½ÃµÈ)Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(501d)ÀÇ Á᫐ Ãà°ú ÀÏÄ¡ÇÏÁö ¾Ê´Â´Ù. Áï, ÇϳªÀÇ Á÷»ç°¢Çü Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(502d)Àº 2 °³ÀÇ Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(501d)¿¡ ´ëÇØ Á¦°øµÈ´Ù.
2 °³ÀÇ Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(501d)°ú ÇϳªÀÇ Á÷»ç°¢Çü Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(502d)°£ÀÇ °ü°è´Â, Á¡¼±ÀÇ ÁÂÃø »óÀÇ Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(501d)ÀÇ Á᫐ Ãà°ú Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(502d)ÀÇ Á᫐ Ãà °£ÀÇ °Å¸® L1 ÀÌ Á¡¼±ÀÇ ¿ìÃø »óÀÇ Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(501d)ÀÇ Á᫐ Ãà°ú Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(502d)ÀÇ Á᫐ Ãà °£ÀÇ °Å¸® L2 ¿Í °°´Ù´Â °ÍÀÌ´Ù. Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(503d)Àº, ±× Á᫐ ÃàÀÌ Á¦ 1 ½Ç½ÃÇüÅ ³»Áö Á¦ 4 ½Ç½ÃÇüÅÂ¿Í °°ÀÌ ¹ÝµµÃ¼ ±âÆÇ¿¡ ¼öÁ÷ÀÎ ¹æÇâÀ¸·Î Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(501d)Áß ´ëÀÀÇÏ´Â ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Á᫐ Ãà°ú ÀÏÄ¡Çϵµ·Ï, ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(50A)¿¡ ¹è¿µÈ´Ù. Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(501d)ÀÌ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(50B)¿¡ Çü¼ºµÇÁö ¾Ê±â ¶§¹®¿¡, ÀÌ ¿µ¿ª¿¡¼ Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(503d)Àº ¹ÐÁýµÇµµ·Ï ¹è¿µÈ´Ù. Á÷»ç°¢Çü Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(502d)Àº Á¦ 2 Ãþ(502)ÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º °¡´É ¿µ¿ª(50B)¿¡ ¹è¿µÈ´Ù.(Á¡¼±À¸·Î µµ½ÃµÈ)´õ¹Ì ÆÐÅÏ(502d)ÀÇ Á᫐ ÃàÀº(Á¡¼±À¸·Î µµ½ÃµÈ) Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(503d)ÀÇ Á᫐ Ãà°ú ÀÏÄ¡ÇÏÁö ¾Ê´Â´Ù. Áï, ÇϳªÀÇ Á÷»ç°¢Çü Çü»ó Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(502d)Àº 2°³ÀÇ Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(503d)¿¡ ´ëÇØ Á¦°øµÈ´Ù. 2 °³ÀÇ Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(503d)°ú ÇϳªÀÇ Á÷»ç°¢Çü Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(502d)°£ÀÇ °ü°è´Â, Á¡¼±ÀÇ ÁÂÃø »óÀÇ Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(503d)ÀÇ Á᫐ Ãà°ú Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(502d)ÀÇ Á᫐ Ãà °£ÀÇ °Å¸® L3 ÀÌ Á¡¼±ÀÇ ¿ìÃø »óÀÇ Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(503d)ÀÇ Á᫐ Ãà°ú Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(502d)ÀÇ Á᫐ Ãà °£ÀÇ °Å¸® L4 ¿Í °°´Ù´Â °ÍÀÌ´Ù.
»óºÎ Ãþ°ú ÇϺΠÃþÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ °£¿¡ »ó¼úÇÑ ¹Ù¿Í °°ÀÌ ¼ÒÁ¤ÀÇ °ü°è°¡ È®¸³µÇ±â ¶§¹®¿¡, »ó±â ±¸¼ºÀº ±¤ÇÐÀûÀ¸·Î °áÇÔÀ» °ËÃâÇÒ ¶§¿¡ ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀ¸·Î ÀÎÇÑ ¹«¾Æ·¹ÀÇ »ý¼ºÀ» ¾ïÁ¦ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. µû¶ó¼ ´ÜÁö ¹Ì¼¼ÇÑ ÆÄƼŬ°ú °áÇÔ¸¸À» Á¤È®ÇÏ°Ô °ËÃâÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¹Ç·Î, ¼öÀ²À» °³¼±ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
Á¦ 5 ½Ç½ÃÇüÅ´ Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(502d)ÀÇ Æø(Æò¸é ±¸¼º¿¡¼ ´õ ±ä º¯)À» ¼³°è Ç¥ÁØ¿¡ µû¶ó Á¦ 3 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(503d)ÀÇ Æø ¶Ç´Â Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(501d)ÀÇ Æøº¸´Ù 2 ¹è ³Ð°Ô ¼³Á¤ÇÏ´Â °æ¿ì¸¦ ³ªÅ¸³½´Ù. Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(502dc)À» ±× Á᫐ ÃàÀÌ Á¦ 1 ³»Áö Á¦ 4 ½Ç½ÃÇüÅÂ¿Í °°ÀÌ Á¦ 1 ´õ¹Ì ÆÐÅÏ(501d)ÀÇ Á᫐ Ãà°ú ÀÏÄ¡Çϵµ·Ï ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Çü¼º°¡´É ¿µ¿ª(50A)¿¡ ¹è¿ÇÏ´Â °æ¿ì¿¡, Á¦ 2 ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀº ±×¸² 11AÀÇ ±ä Á¡¼±¿¡ ÀÇÇØ µµ½ÃµÈ °Í°ú °°ÀÌ ÇϳªÀÇ ¹è¼±(502w)¿¡ Á¢±ÙÇϵµ·Ï ¹è¿µÇ°í, ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÌ Çü¼ºµÇÁö ¾Ê´Â ³ÐÀº ¿µ¿ªÀº ±× ¹è¼±¿¡ Á¢±ÙÇÏ´Â ÃøÀÇ ¹Ý´ëÆí¿¡ ÀÖ´Â ´õ¹Ì ÆÐÅÏ Ãø¿¡ ³²¾Æ ÀÖ°Ô µÇ¹Ç·Î, µð½Ì µîÀÌ ÀϾÙ. µû¶ó¼ ¹ÐÁýµÇ´Â ÀÏ Ãþ¿¡¼ÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅϺ¸´Ù 2¹è, 3¹è(¶ÇÇÑ ±× ÀÌ»ó)´õ Å« ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀ» ´Ù¸¥ Ãþ¿¡ Á¦°øÇØ¾ß ÇÏ´Â °æ¿ì¿¡´Â, Á¦ 5 ½Ç½ÃÇüÅÂÀÇ ±¸¼ºÀ» °®´Â °ÍÀÌ ¹Ù¶÷Á÷ÇÏ´Ù.
º» ¹ß¸íÀº »ó±â ½Ç½ÃÇüÅ¿¡ ÇÑÁ¤µÇ´Â °ÍÀÌ ¾Æ´Ï¶ó, º» ¹ß¸íÀÇ ¹üÀ§ ¹× »ç»óÀ¸·ÎºÎÅÍ ÀÏÅ»ÇÔÀÌ ¾øÀÌ º¯Çü ¹× ¼öÁ¤µÉ ¼öµµ ÀÖ´Ù´Â °ÍÀ» ¾Ë ¼ö ÀÖ´Ù. Á¦ 1 ½Ç½ÃÇüÅ´ ¸ðµç ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Æò¸é Å©±â°¡ µ¿ÀÏÇÑ °æ¿ì¸¦ ¼³¸íÇÏ¿´°í, Á¦ 2 ³»Áö Á¦ 4 ½Ç½ÃÇüÅ´ °¢°¢ÀÇ ÃþÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Æò¸é Å©±â°¡ ¼·Î »óÀÌÇÑ °æ¿ì¸¦ ¼³¸íÇÏ¿´Áö¸¸, º» ¹ß¸íÀº ÀÌ¿¡ ÇÑÁ¤µÇÁö ¾Ê´Â´Ù. ¿¹¸¦ µé¾î, º¹¼öÀÇ Ãþ Áß¿¡¼ Àû¾îµµ 2°³ÀÇ ÃþÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Æò¸é Å©±â°¡ µ¿ÀÏÇϰí, ´Ù¸¥ ÃþÀÇ ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Æò¸éÅ©±â°¡ ¼·Î »óÀÌÇÑ ±¸¼ºÀ» °®´Â °ÍÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù.
±âº»ÀûÀ¸·Î, »óºÎ Ãþ°ú ÇϺΠÃþ¿¡¼ ¼·Î ´ëÀÀÇÏ´Â ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÇ Á᫐ ÃàÀÌ Á¦ 1 ³»Áö Á¦ 4 ½Ç½ÃÇüÅ¿¡¼ ¼³¸íµÈ °Í°ú °°ÀÌ ¼·Î ÀÏÄ¡ÇÏ´Â °ÍÀÌ ¹Ù¶÷Á÷ÇÏ´Ù. ±×·¯³ª °áÇÔ °Ë»ç¿¡ ÀÖ¾î¼ ¹Ì¼¼ÇÑ ÆÄƼŬ°ú °áÇÔÀ» Á¤È®ÇÏ°Ô °ËÃâÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÇÑ, Á᫐ ÃàÀÌ ¼·Î ÀÏÄ¡ÇÏÁö ¾Ê´Â ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÌ Á¸ÀçÇÏ´õ¶óµµ ¹®Á¦°¡ ¾ø´Ù.
»ó±â ½Ç½ÃÇüÅ¿¡¼´Â Ãþµé Áß ÀÓÀÇÀÇ Ãþ¿¡¼ ´õ¹Ì ÆÐÅÏ ¹ÐÁýµÇ¾î¾ß ÇÏ´Â °æ¿ì¸¦ ¼³¸íÇÏ¿´Áö¸¸, ±×¸² 1À» ÂüÁ¶ÇÏ¿© óÀ½¿¡ ¼³¸íµÈ °Í°ú °°ÀÌ Ãþµé Áß ÀÓÀÇÀÇ Ãþ¿¡¼´Â ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÌ ¹ÐÁýµÉ Çʿ䰡 ¾ø´Ù. ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÌ ¹ÐÁýµÇ¾î¾ß ÇÏ´Â ÀÓÀÇÀÇ ÃþÀÌ Á¦°øµÇÁö ¾Ê´Â °æ¿ì¿¡´Â, ¹Ì¸® ¼³Á¤µÈ ³ôÀº ¿ì¼±¼øÀ§¸¦ °®´Â Ãþ¿¡¼ ´õ¹Ì ÆÐÅÏÀÌ ¹ÐÁýµÇ´Â °ÍÀ¸·Î ÃæºÐÇÏ´Ù.