2019년 하반기 완공 예정
삼성전자(www.samsung.com/sec)가 경기도 화성캠퍼스에서 ‘삼성전자 화성 EUV 라인 기공식’을 열고 본격적으로 라인 건설에 착수했다. 이번에 착공하는 화성 EUV 라인은 2019년 하반기에 완공, 시험 생산을 거쳐 2020년부터 본격적으로 가동을 시작할 예정이다.
신규 라인에는 미세공정 한계 극복에 필수적인 EUV(Extreme Ultra Violet, 극자외선) 장비가 도입될 예정이다. EUV 기술이 본격적으로 상용화되면 반도체의 성능과 전력 효율을 향상할 수 있음은 물론 회로 형성을 위한 공정 수가 줄어들어 생산성도 획기적으로 높일 수 있다.
삼성전자는 화성 EUV 라인을 통해 향후 모바일/서버/네트워크/HPC 등 고성능과 저전력이 요구되는 첨단 반도체 시장 수요에 적기 대응하고, 7나노 이하 파운드리 미세공정 시장을 주도해 나갈 계획이다. 화성 EUV라인의 초기 투자 규모는 건설비용 포함 2020년까지 60억불 수준으로, 삼성전자는 라인 가동 이후 시황에 따라 추가 투자를 추진할 계획이다.