어플라이드머티어리얼즈(www.appliedmaterials.com)는 최첨단 3D 메모리와 로직 칩 제조업체에 고성능 ALD 기술을 제공하는 차별화된 모듈러 콘셉트의 ‘올림피아™(Olympia™) ALD’ 장비를 발표했다. 신제품은 저온에서도 고품질의 다양한 필름을 효율적으로 증착하면서 높은 생산성을 유지하여, 다양한 물질에 대한 대응력과 높은 생산성을 동시에 만족시킨다.
‘올림피아™’의 독특한 모듈 디자인은 기존 ALD공정에 필수인 별도의 펌핑(pumping)/퍼지(purge) 단계를 제거하고, 각각의 반응 화학물질을 완벽히 분리 배출시킴으로써 향후 더욱 복잡한 물질 및 필름 개발에 절대적으로 필요한 다양한 화학 물질의 사용을 가능하게 할 뿐만 아니라, 짧은 ALD공정 사이클을 가능케 하여 높은 생산성도 확보할 수 있게 한다.