반도체 전 공정 오버레이(Overlay) 계측장비 전문기업인 오로스테크놀로지(www.aurostech.com)가 바쁜 나날을 보내고 있다. 기존의 12인치 오버레이 계측장비에 이어 8인치 모델 납품건을 따내고, 장비 다변화 행보를 가속하고 있다. 이 회사는 지난 6월 말 한국나노기술원의 시스템 반도체 및 차세대 지능형 반도체 R&D 지원사업에 발맞춰, 국산 설비로는 최초로 8inch Overlay System ‘OL-100n’을 공급한 데 이어, 동일한 8inch 계측장비를 나노종합기술원 입찰에도 성공해 10월 중 공급을 앞두고 있다.

오로스테크놀로지의 OL-100n은 6inch, 8inch Overlay 측정 장비로 Legacy process 수요 증가에 대비해 12inch 측정 기술을 기반으로 자체적으로 개발한 장비이다. 6inch와 8inch Wafer 핸들링이 모두 가능하며, 해외 경쟁사 기능 대비 업그레이드된 Overlay 성능을 제공한다. 빠른 측정 속도와 사용 편리성을 갖췄으며 동일 장비로 Overlay와 CD 계측까지 가능해 다양한 테스트 결과까지 기대할 수 있다.

해당 OL-100n 장비는 기존의 Overlay 시장을 포함해 폭발적으로 성장하고 있는 화합물 반도체에서도 필요성이 증가 추세에 따라 오로스테크놀로지는 현재 다양한 글로벌 고객사로부터 wafer 평가와 투자에 대한 협의를 진행 중이다. 이미 동 모델의 장비는 대만과 한국의 Device maker에서 양산 적용 중이며, 일본의 자동차 센서向 반도체 FAB과의 평가도 우수한 결과를 보여줘 글로벌 고객사 확대 및 앞으로 장비 다변화를 추진하고 있다.