
¹ÝµµÃ¼ EUV ÆÕ ¼öÀ² °ü¸® ¹®Á¦ Ź¿ù
¹ÝµµÃ¼ Á¦Á¶¿ë ½ºÅäij½ºÆ½½º(stochastics) ÃøÁ¤·Á¦¾î ¼Ö·ç¼Ç ±â¾÷ÀÎ ÇÁ·¢Æ¿¸®¾Æ(www.fractilia.com)°¡ ¹ÝµµÃ¼ ÆÕÀÇ EUV ¼öÀ² ¹®Á¦¸¦ °ü¸®ÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô ÇÏ´Â ‘FAME™(Fractilia Automated Measurement Environment)’ Á¦Ç°ÀÇ ÃֽйöÀüÀ» Ãâ½ÃÇÑ´Ù°í ¹àÇû´Ù. ÀÌ È¸»ç ÃøÀº, “ÇÁ·¢Æ¿¸®¾Æ(Fractilia)ÀÇ FAME Á¦Ç°À» Ȱ¿ëÇϸé ÀÇ»ç°áÁ¤À» ´õ ½Å¼ÓÈ÷ Çϰí, ÷´Ü ÆÐÅÍ´× °øÁ¤À» ´õ Àß Á¦¾îÇÒ ¼ö ÀÖ¾î µð¹ÙÀ̽º ¼öÀ²°ú ÆÐÅÍ´× »ý»ê¼ºÀ» ³ôÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù”°í ÀåÁ¡À» ¼³¸íÇß´Ù.
½ºÅäij½ºÆ½½º(stochastics)´Â ÀÓÀÇÀûÀÌ¸é¼ ¹Ýº¹ÀûÀÌÁö ¾ÊÀº ÆÐÅÍ´× ¿À·ù¸¦ ÀÏÄ´µ¥, EUV °øÁ¤¿¡¼ ÃÑ ÆÐÅÍ´× ¿À·ùÀÇ 50% ÀÌ»óÀ» Â÷ÁöÇÑ´Ù. µû¶ó¼ ¹ÝµµÃ¼ ÆÕ¿¡¼´Â ½ºÅäij½ºÆ½½º¸¦ Á¦¾îÇϱâ À§ÇØ À̸¦ Á¤È®È÷ ÃøÁ¤ÇÒ Çʿ䰡 ÀÖ´Ù. ±âÁ¸ ±â¹ýÀ¸·Î´Â ½ºÅäij½ºÆ½½º¸¦ Á¤È®Çϰí Á¤¹ÐÇÏ°Ô ÃøÁ¤ÇϱⰡ ¾î·Á¿îµ¥, ÷´Ü °øÁ¤¿¡¼´Â ½ºÅäij½ºÆ½½º°¡ ¹«½ÃÇÒ ¼ö ¾ø´Â ¹®Á¦´Ù. ÷´Ü 193nm ±¤ ¸®¼Ò±×·¡ÇÇ¿¡¼´Â ÀÌ¹Ì ¹®Á¦°¡ µÇ°í ÀÖÀ¸¸ç, ƯÈ÷ ÀÌÁß ¹× »çÁß ÆÐÅÍ´×ÀÇ °æ¿ì ´õ¿í ±×·¸´Ù. EUV °øÁ¤¿¡¼ ½ºÅäij½ºÆ½½º´Â ½É°¢ÇÑ ¼öÀ² ¹®Á¦·Î À̾îÁö°í ºñ¿ëÀ» ³ôÀδÙ.
ÇÁ·¢Æ¿¸®¾Æ(Fractilia)ÀÇ Å©¸®½º ¸Æ(Chris Mack) CTO´Â “½ºÅäij½ºÆ½½º ¹®Á¦ ¶§¹®¿¡ Á¦Á¶ ÆÕµéÀº ¼öÀ²°ú »ý»ê¼º »çÀÌ¿¡¼ ÀýÃæÀ» ÇØ¾ß¸¸ ÇÑ´Ù. ¼öÀ² ÀúÇϸ¦ ¸·À¸·Á ³ëÃâ·®À» ³ôÀ̸é EUV ½ºÄ³³ÊÀÇ »ý»ê¼ºÀÌ ¶³¾îÁö°í, À̰ÍÀ» ¸Þ¿ì±â À§ÇØ Ãß°¡ÀûÀÎ EUV ½ºÄ³³Ê¸¦ »ç¿ëÇØ¾ß ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù¸ç ½ºÅäij½ºÆ½½º¸¦ Á¦¾îÇÏ¸é °øÁ¤ ÀåºñÀÇ »ý»ê¼ºÀ» ³ôÀÌ¸é¼ ¼öÀ²µµ °³¼±ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù”°í ¸»Çß´Ù. ÀÌ¾î “ÇÁ·¢Æ¿¸®¾Æ(Fractilia)ÀÇ FAME Á¦Ç°À» »ç¿ëÇÏ¸é ½ºÅäij½ºÆ½½º¸¦ °íµµ·Î Á¤È®Çϰí Á¤¹ÐÇÏ°Ô ÃøÁ¤ ¹× Á¦¾îÇÒ ¼ö ÀÖ¾î, °á°úÀûÀ¸·Î °í°´µé¿¡°Ô »õ·Î¿î ¿É¼ÇÀ̳ª ¼Ö·ç¼ÇÀ» Á¦°øÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù”¸ç “¿ì¸® °í°´µéÀÌ ÇÁ·¢Æ¿¸®¾Æ Á¦Ç°À» »ç¿ëÇØ¼ ÃøÁ¤ÇÏ´Â SEM À̹ÌÁö ¼ö°¡ ºü¸£°Ô Áõ°¡Çϰí ÀÖ°í, ÇÁ·¢Æ¿¸®¾Æ´Â ½ºÅäij½ºÆ½½º ÃøÁ¤¿¡ ÀÖ¾î¼ »ç½Ç »óÀÇ ¾÷°è Ç¥ÁØ(de facto)À¸·Î ÀÚ¸®Àâ°í ÀÖ´Ù”°í µ¡ºÙ¿´´Ù.