WLCSP ºÎǰ Áø°ø Àû¿ë ½ÇÇè ÁøÇà
º¸À̵å¿Í ºê¸´ÁöÀÇ ¿¬°ü °ü°è À¯ÀÇÇØ¾ß
°¡½º º¸À̵å´Â óÀ½¿¡´Â Á¸ÀçÇÏÁö ¾Ê°í ÀÖ´Ù°¡ ¿ëÀ¶ ±Ý¼Ó¿¡¼ Çü¼ºµÉ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ¾Ð·ÂÀÌ ÁÙ¾îµê¿¡ µû¶ó Á¡Á¡ ´õ ¸¹Àº ÇÙ »ý¼º »çÀÌÆ®¿¡¼ °¡½º °ÅǰÀ» »ý¼º ¹× ¹æÃâÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÈ´Ù. ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ® º¸À̵å´Â Áø°ø ¸®Ç÷οì·Î Á¦°ÅÇÒ ¼ö ¾ø´Ù. Áø°ø ¸®Ç÷οì ÇÁ·Î¼¼½º´Â ¶ÇÇÑ ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ® ºê¸´ÁöÀÇ ÇüÅ·Π¿µ¿ª ¾î·¹ÀÌ ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®¿¡ °áÇÔÀ» ÀÏÀ¸Å³ ¼ö ÀÖ´Ù. °øÁ¤ Àü¹Ý¿¡ °ÉÃÄ ÀÛÀº º¸À̵尡 ¸¸¿¬Çß´Ù. ¼Ò¼öÀÇ º¸À̵尡 Å« º¸À̵å·Î ÇÕÃÄÁ® ¾ø¾îÁö´Â ¹Ý¸é, ´Ù¸¥ º¸À̵å´Â Á¶ÀÎÆ®¿¡ °¤Èù »óÅ·Π³²À» ¼ö ÀÖ´Ù. º¸À̵å´Â Áø°ø ¸®ÇÃ·Î¿ì °øÁ¤¿¡¼ ´Ã¾î³ªÁö¸¸, ´ë±â¾ÐÀÌ º¹¿øµÇ¸é ´Ù½Ã ¼öÃàÇÑ´Ù.
̧ȗ
º¸À̵å´Â ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®ÀÇ ¿Àû Ư¼º°ú ±â°èÀû Ư¼º¿¡ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡¹Ç·Î ¼Ö´õ ÀÎÅÍÄ¿³ØÆ®ÀÇ ½Å·Ú¼º¿¡ ¿µÇâÀ» ³¢Ä£´Ù. ƯÈ÷ ÀÚµ¿Â÷ »ê¾÷°è¿¡¼´Â ´Ù¾çÇÑ ÀüÀÚ Á¦¾î ¸ðµâ ³»ÀÇ ¼Ö´õ º¸À̵带 °¡´ÉÇÑ ÃÖ¼Ò ¼öÁØÀ¸·Î °ü¸®ÇØ¾ß ÇÑ´Ù. º¸À̵带 ÁÙÀ̱â À§ÇÑ ÃÊâ±â ¿¬±¸¿¡¼´Â ¸®Ç÷οì ÇÁ·ÎÆÄÀÏ, ÆäÀ̽ºÆ® ħÀü, ÆäÀ̽ºÆ® ÇÕ±Ý Á¶¼º, ½ºÅÙ½Ç ¾ÖÆÛó ¹× µÎ²²¸¦ º¯°æÇÏ´Â ¹æ¹ýÀ» ¾Ë¾ÆºÃ¾ú´Ù. º¸ÀÌµå ¹®Á¦¸¦ ó¸®ÇÏ´Â µ¥ µµ¿òÀ» ÁÖ´Â À̵éÀÌ Á¦°øÇÏ´Â ´Ù¾çÇÑ ÀÌÁ¡À¸·Î ÀÎÇØ BGA ÆÐŰÁöÀÇ »ç¿ëÀº ¸ðµç »ê¾÷°è¿¡¼ ÀϹÝÀûÀÎ »çÇ×ÀÌ µÇ¾ú´Ù. º» ¿¬±¸´Â Áø°ø ¸®Ç÷οì ÇÁ·Î¼¼½º°¡ ¿¡¾î¸®¾î ¾î·¹ÀÌ ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®ÀÇ º¸À̵带 ¿ÏÈÇÏ´Â µ¥ µµ¿òÀÌ µÉ ¼ö ÀÖ´ÂÁö È®ÀÎÇϱâ À§ÇØ ¼öÇàµÇ¾ú´Ù. º» ¿¬±¸ÀÇ Å×½ºÆ® ¸Å°³º¯¼ö´Â ÁÖ·Î Áø°ø ¾Ð·Â ¼öÁذú Áø°ø ü·ù ½Ã°£¿¡ ÁßÁ¡À» µÎ¾ú´Ù.
½ÇÇèÀº ¶ÇÇÑ Áø°ø »óÅ¿¡¼ÀÇ º¸ÀÌµå °Åµ¿À» Á¶»çÇϱâ À§ÇØ Å¹»óÇü ¿Àºì¿¡¼ ¼öÇàÇÏ¿´´Ù. Å×½ºÆ®´Â ÀζóÀÎ ´ë·ù Áø°ø ¸®ÇÃ·Î¿ì ¿Àºì¿¡¼´Â °¡´ÉÇÏÁö ¾Ê¾Ò´ø º¸À̵带 ±»È÷±â À§ÇØ Áø°ø »óÅ¿¡¼ ÀÀ°íµÈ »ùÇÃÀ» »ç¿ëÇÏ¿© ´Ù¾çÇÑ ¾Ð·Â ¼öÁØ¿¡¼ ¼öÇàµÇ¾ú´Ù. ¶ÇÇÑ Å×½ºÆ® º¸µå´Â ºñ±³ ºÐ¼®À» À§ÇØ ¼±Çü ·¥ÇÁ ¹æ½ÄÀ¸·Î ¸®Ç÷οì ÇÁ·ÎÆÄÀÏ ÇÇÅ©¸¦ ¿Ã¸° ´ë·ù ¸®ÇÃ·Î¿ì ¿ìºì¿¡¼ ¾î¼Àºí¸®µÇ¾ú´Ù.
¼¹®
ÀüÀÚ ¾î¼Àºí¸® °øÁ¤ÀÇ Áß¿äÇÑ ´Ü°è Áß Çϳª´Â ¸®ÇÃ·Î¿ì ¼Ö´õ¸µÀÌ´Ù. ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®ÀÇ ¸®Ç÷οì ÇÁ·Î¼¼½º´Â ¼Ö´õ ÆäÀ̽ºÆ®¿Í ¼Ö´õ ±¸Ã¼¸¦ ³ìÀÌ´Â ¿ Àü´Þ·Î ½ÃÀÛÇÏ¿© °¡½º ±âÆ÷ÀÇ Çü¼º ¹× À¯ÂøÀÌ µÚµû¸¥´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ±âÆ÷´Â Ç÷°½º °¡½º ¹æÃâ, ¼Ö´õ ÆäÀ̽ºÆ® ¼Öº¥Æ®/°íüÀÇ ÈÖ¹ß, PCB ¶Ç´Â ºÎǰÀÇ ½À±â·Î ÀÎÇØ Çü¼ºµÉ ¼ö ÀÖ´Ù.
º¸À̵å´Â PCB¿Í ºÎǰ °£ÀÇ CTE ºÒÀÏÄ¡, ¿ ¼øÈ¯, Áøµ¿ ¶Ç´Â ³«ÇÏ Ãæ°ÝÀ¸·Î ÀÎÇÑ ÀÀ·Â/º¯ÇüÀ» °ßµð´Â ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®ÀÇ ±â´ÉÀ» ÀúÇÏÇÏ¿© ÀÎÅÍÄ¿³ØÆ®ÀÇ ±â°èÀû °ß°í¼º¿¡ ¼Õ»óÀ» ÁØ´Ù. ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®´Â µð¹ÙÀ̽º ȸ·ÎÀÇ °íÀåÀ» ¹æÁöÇϱâ À§ÇØ µ¿ÀÛ Áß PCB·Î Àü´ÞµÈ ¿À» ºÐ»ê½ÃŰ´Â µ¥ µµ¿òÀÌ µÈ´Ù. Àü´ÞµÇ´Â ¿ÀÇ ¾çÀº ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®ÀÇ ´Ü¸éÀû¿¡ ÀÇÇØ °áÁ¤µÈ´Ù. º¸À̵åÀÇ Á¸Àç´Â ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®ÀÇ Ãʱ⠺ÎÇǸ¦ À¯ÁöÇϱâ À§ÇØ ½ºÅĵå¿ÀÇÁ ³ôÀ̸¦ ³ôÀÏ ¼ö ÀÖÀ¸³ª, ÀÛ¾ÆÁø ¸éÀûÀÇ ÀÎÅÍÄ¿³ØÆ®ÀÇ ¿ ¼º´É¿¡ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¥ ¼ö ÀÖ´Ù.
º¸À̵å, °¡½º ¹× Áõ±â ±âÆ÷ÀÇ °áÁ¤ÇÙ »ý¼ºÀº ¸®ÇÃ·Î¿ì °øÁ¤¿¡¼ ÇÇÇÒ ¼ö ¾øÀ¸³ª, ÇØ´ç Çü¼º ½Ã½ºÅÛ¿¡¼ ±×µéÀ» ¹æÃâÇÏ¿© ±¸Á¶Àû ¹«°á¼º ¹× ¿ Àüµµ ¼º´ÉÀ» °®µµ·Ï ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ® °á°ú¹°¿¡¼ º¸ÀÌµå ºÐÆ÷¸¦ °ü¸®ÇÏ´Â °ÍÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù. À̰ÍÀº ½Ã½ºÅÛÀÇ ¿ÜºÎ ¾Ð·ÂÀ» ³·ÃãÀ¸·Î½á °¡´ÉÇÒ ¼ö ÀÖ°í, ±×·¸°Ô ÇÔÀ¸·Î½á Â÷¾Ð(differential pressure)À» ´Ã¸®°í, ±âÆ÷ÀÇ ¼ºÀå ¹× À̵¿À» ÃËÁøÇϰí ÃÖÁ¾ÀûÀ¸·Î Áø°ø ³³¶«À¸·Î ¾Ë·ÁÁø ÇÁ·Î¼¼½º¸¦ ÅëÇØ ±âÆ÷¸¦ ¹èÃâÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ÀϹÝÀûÀ¸·Î ÀÛÀº ±âÆ÷°¡ ÇÕÃÄÁ® Å« ±âÆ÷¸¦ Çü¼ºÇÏ°í °á±¹ ÀÚÀ¯ Ç¥¸éÀÇ ¿ëÀ¶ ±Ý¼Ó¿¡¼ ºüÁ®³ª°£´Ù. ¿ëÀ¶ ±Ý¼Ó¿¡¼ ±âÆ÷ÀÇ ¿òÁ÷ÀÓÀº Áø°ø °øÁ¤ µ¿¾È È帧 ÀúÇ×ÀÌ ÁÙ¾îµé°í ºÎ·ÂÀÌ ÄÑÁö±â ¶§¹®ÀÌ´Ù.
¶ÇÇÑ, Áø°øÀº ȯ¿ø ºÐÀ§±â(reduction atmosphere)¸¦ ÃËÁøÇÏ¿© ºÎºÐ »ê¼Ò¾Ð(partial oxygen pressure)À» ³·Ãá´Ù. ³·¾ÆÁø »ê¼Ò ºÐ¾ÐÀº Ç÷°½Ì ¹ÝÀÀÀ¸·ÎºÎÅÍÀÇ ±âü ºÎ»ê¹°À» °¨¼Ò½ÃÄÑ »ý¼ºµÈ º¸À̵åÀÇ ¾çÀ» ÁÙÀÏ °ÍÀ¸·Î ¿¹»óµÈ´Ù. ÀÌ·Î ÀÎÇØ ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®¿¡ °¤Èù °¡½º ºÎÇǰ¡ °¨¼ÒÇÑ´Ù. Áø°ø ¸®Ç÷οì ÇÁ·Î¼¼½ºÀÇ È¿°ú¿Í ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ® º¸À̵忡 ¹ÌÄ¡´Â ¿µÇâÀº ÀÌÀü¿¡ ¹®¼ÈµÇ¾ú´Ù.[1],[2],[3],[4],[5],[6],[7]
SnAgCu(SAC) ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®ÀÇ °æ¿ì ÁÖº¯ÀÇ ¼Ö´õ ÆäÀ̽ºÆ®´Â ±¹ºÎ ¿Âµµ°¡ 217¡É¿¡ µµ´ÞÇÏ¸é ³ì±â ½ÃÀÛÇÏ¿© ¸Å²ô·¯¿î Ç¥¸éÀ» Çü¼ºÇϰí Á¶ÀÎÆ® ³»ºÎ¿¡¼ Çü¼ºµÈ °¡½º´Â °¡½º ±âÆ÷ »óÅ·Π°¤È÷°Ô µÈ´Ù. ±âÆ÷¿Í ÁÖº¯ ȯ°æ »çÀÌ¿¡ ¾Ð·ÂÂ÷°¡ ¹ß»ýÇϸé ÀÌ»ó ±âü ¹ýÄ¢(Ideal Gas Law)¿¡ µû¶ó ±âÆ÷´Â PV = nRT ¹æÁ¤½ÄÀ¸·Î ÆØÃ¢ÇÑ´Ù. P´Â ÁÖº¯ ȯ°æ ¾Ð·Â, V´Â º¸À̵åÀÇ ºÎÇÇ, nÀº º¸ÀÌµå °¡½º ºÐÀÚÀÇ ¸ô¼ö, RÀº ÀÌ»ó ±âü »ó¼ö, T´Â ¿Âµµ¸¦ ÀǹÌÇÑ´Ù.
Ãʱâ ÀÛÀº Å©±â¸¦ Áö´Ñ ±âÆ÷ÀÇ ÆØÃ¢ÀÌ ÀÏÁ¤ÇÑ ¿ÂµµÀÇ Áø°ø »óÅ¿¡¼ Æò°¡µÈ´Ù. ±âÆ÷´Â ¿òÁ÷ÀÓ ¾ø´Â ¾×»ó¿¡¼ ±¸Çü ´ëĪ(spherically symmetric) ±¸Á¶·Î ¼ºÀåÇÑ´Ù°í °¡Á¤ÇÑ´Ù. º¸À̵å Å©±â¿Í ȯ°æ ¾Ð·Â °£ÀÇ °ü°è´Â ÀÌ»ó ±âü ¹ýÄ¢À» Àû¿ëÇÏ¿© °áÁ¤ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ÀÏÁ¤ÇÑ ¿ÂµµÀÇ °æ¿ì, PV´Â ÀÏÁ¤ÇϹǷΠº¸À̵å üÀûÀº ¾Ð·Â¿¡ ¹Ýºñ·ÊÇÑ´Ù.
¿¹¸¦ µé¾î, 1±â¾Ð(760Torr)¿¡¼ 3mil³ÀÇ ÀÛÀº º¸À̵å´Â ±×¸² 1°ú °°ÀÌ 150Torr¿¡¼ 15mil³, 20Torr¿¡¼ 114mil³, 5Torr¿¡¼ 456mil³·Î È®ÀåµÉ ¼ö ÀÖ´Ù. ½ÇÁ¦ º¸À̵å Å©±â¸¦ ³ªÅ¸³»Áö ¾ÊÀ» ¼öµµ ÀÖÁö¸¸, ÀÌÀü ¿¬±¸¿¡¼´Â BGA ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®°¡ °Å´ëÇÑ º¸À̵带 °¡Áö°í ÀÖ¾î ´Ü¸éÀûÀ» °¨¼Ò½ÃŰ´Â °ÍÀ¸·Î ³ªÅ¸³µ´Ù(±×¸² 2 ÂüÁ¶).
BGA ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®¿¡¼ Çü¼ºµÈ ±âü º¸À̵å´Â PCB ¶Ç´Â ºÎǰ ÆÐµå ±Ùó¿¡¼ °üÂûµÇ°Å³ª ÀÛÀº Ç¥¸éÀûÀ» °®´Â ±¸Çü Çü»óÀÇ ¹úÅ© ¼Ö´õ¿¡ ¶° ÀÖ´Ù.[8] °¡²û ±âÆ÷°¡ Ä¿Á®¼ Àüü ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ® ³ôÀ̸¦ ä¿î´Ù. ¾×ü´Â ºñ¾ÐÃ༺À̹ǷΠ±×¸² 3[9],[10]°ú °°ÀÌ º¸À̵尡 ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ® °æ°è¸é°ú Á¢ÃËÇÏ¿© ºüÁ®³ª°¡Áö ¸øÇϵµ·Ï ¿©·¯ ¹æÇâÀ¸·Î ¼ºÀåÇÏ´Â ¿¹Ãø °¡´ÉÇÑ ±âÆ÷¸¦ ¼ö¿ëÇϱâ À§ÇØ ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®ÀÇ Á÷°æÀÌ Ä¿Áø´Ù.[9],[10]

Áø°ø ¸®ÇÃ·Î¿ì °øÁ¤ µ¿¾È ÀÎÁ¢ÇÑ ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®°¡ ÃæºÐÈ÷ Å« ³»ºÎ °¡½º ±âÆ÷¸¦ ¼ö¿ëÇϱâ À§ÇØ ÆØÃ¢ÇÏ´Â °æ¿ì ¼·Î Á¢ÃËÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.[11],[12] ÀÌ´Â ºÎǰÀÇ ÇÇÄ¡¿¡ ÀÇÇØ °áÁ¤µÇ´Â °¡´É¼ºÀÌ ÀÖ´Â ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ® ºê¸´Áö·Î À̾îÁú ¼ö ÀÖ´Ù. ÀÌ»ó ±âü ¹ýÄ¢À» »ç¿ëÇÏ°í ³»ºÎ º¸ÀÌµå ¼ºÀåÀÌ ÀÖ´Â ±¸Çü ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®¸¦ ½Ã¹Ä·¹À̼ÇÇϸé Áø°ø Àû¿ëÀÌ ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®ÀÇ Å©±â¿¡ »ó´çÇÑ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ£´Ù´Â °ÍÀ» ¾Ë ¼ö ÀÖ´Ù. ±×¸² 4¿¡¼ º¼ ¼ö ÀÖµíÀÌ º¸À̵å´Â ´ë±â¾Ð¿¡¼ 100Torr Áø°ø±îÁö´Â ¿ø·¡ Å©±â(Á÷°æ)ÀÇ µÎ ¹è, 5Torr Áø°ø¿¡¼´Â ¿ø·¡ Å©±âÀÇ 5¹è·Î Ä¿Áø´Ù. ´ëºÎºÐÀÇ BGA ¾ÖÇø®ÄÉÀ̼ÇÀÌ Á÷°æ 30mil ÀÌÇÏÀÇ ¼Ö´õ ±¸Ã¼¸¦ »ç¿ëÇÑ´Ù´Â Á¡À» °í·ÁÇÏ¸é º¸À̵å üÀûÀÌ Áø°ø ¾Ð·Â ÇÏ¿¡¼ ¼Ö´õ üÀûÀÇ ´ëºÎºÐÀ» Â÷ÁöÇÑ´Ù´Â °ÍÀÌ ºÐ¸íÇÏ´Ù.
±×¸² 4¸¦ ÅëÇØ¼, Áø°øÀ» Àû¿ëÇϱâ Àü¿¡ Ãʱ⠺¸À̵å Å©±â°¡ ºñ½ÁÇÏ¸é ÆÄÀÎ ÇÇÄ¡ÀÇ ÀÛÀº ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®°¡ Å« ÇÇÄ¡ÀÇ Å« Á¶ÀÎÆ®º¸´Ù ºê¸´Áö Çö»ó¿¡ ´õ Ãë¾àÇÏ´Ù´Â °ÍÀ» Ãß·ÐÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù. Áø°ø Àû¿ë ½Ã º¸À̵åÀÇ ÆØÃ¢ È¿°ú·Î ÀÎÇØ ¿ëÀ¶µÈ ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®´Â ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®ÀÇ È®ÀåÀ¸·Î ÀÎÇØ ÀÎÁ¢ Á¶ÀÎÆ®¿Í ¹°¸®ÀûÀ¸·Î Á¢ÃËÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®°¡ ¿ø·¡ À§Ä¡·Î µÇµ¹¾Æ°¡°Å³ª ´ë±â¾ÐÀÌ º¹¿øµÈ ÈÄ¿¡µµ ¿¬°á »óŸ¦ À¯ÁöÇÏ´Â °Íµµ °¡´ÉÇÏ´Ù.[13]
±âÆ÷ÀÇ ¼ºÀå°ú °Åµ¿À» Á¤·®ÀûÀ¸·Î È®ÀÎÇϰí Á¶»çÇÏ´Â À¯ÀÏÇÑ ¹æ¹ýÀº Áø°ø »óÅ¿¡¼ ´Ù¾çÇÑ ¸Å°³º¯¼ö·Î ÀÏ·ÃÀÇ ½ÇÇèÀ» ¼öÇàÇÏ°í µ¥ÀÌÅ͸¦ Ç¥ÁØ ¸®ÇÃ·Î¿ì ¿ÀºìÀÇ °á°ú¿Í ºñ±³ÇÏ´Â °ÍÀÌ´Ù.
½ÇÇè °èȹ
Å×½ºÆ® º¸µå ¼³¸í
»ç¿ëµÈ Áø°ø ¸®Ç÷οì Å×½ºÆ® º¸µå´Â ENIG Ç¥¸é ¸¶°¨Ã³¸®µÈ Á¦Ç°ÀÌ´Ù. 1mm µÎ²²·Î 78mm × 104mm »çÀÌÁîÀ̸ç, 2°³ÀÇ ½Ã±×³Î ·¹À̾ °¡Áö°í ÀÖ´Ù. WLCSP(Wafer Level Chip Scale Package) DzÇÁ¸°Æ® ¿Ü¿¡µµ º¸µåÀÇ 1Â÷ Ãø¿¡´Â QFN(Quad Flat No-Lead), LGA(Land Grid Array), SMR(Surface Mount Resistor) ¹× D2PAK MOSFET µð¹ÙÀ̽º ŸÀÔÀÇ Ç²ÇÁ¸°Æ®µµ Æ÷ÇÔÇϰí ÀÖ´Ù. Ç¥ 1¿¡¼´Â ºÎǰ ¹× º¸µåÀÇ ¼Ó¼ºÀ» ¼³¸íÇϰí ÀÖ´Ù.
±¸¼º ¾î¼Àºí¸® ÇÁ·Î¼¼½º
Å×½ºÆ® º¸µå´Â 10°³ÀÇ ´ë·ù È÷ÆÃ Á¸°ú ¹ÐÆóµÈ Áø°ø è¹ö ³»ºÎ¿¡ À§Ä¡ÇÑ 2°³ÀÇ È÷ÆÃ Á¸ ±×¸®°í 2°³ÀÇ Ä𸵠Á¸À¸·Î ±¸¼ºµÈ ÀζóÀÎ ´ë·ù Áø°ø ¸®ÇÃ·Î¿ì ¿ÀºìÀ» »ç¿ëÇÏ¿© ¾î¼Àºí¸®ÇÏ¿´´Ù. Àû¿ëÇÑ ¸®Ç÷οì ÇÁ·ÎÆÄÀÏÀº ±×¸² 5¿Í °°ÀÌ 242¡ÉÀÇ ÇÇÅ© ¿Âµµ¿¡ µµ´ÞÇÏ´Â Ramp-To-Peak À¯ÇüÀÌ´Ù. ±âº» ¿Âµµ ÇÁ·ÎÆÄÀÏÀº ½ÇÇè Àü¹Ý¿¡ °ÉÃÄ À¯ÁöÇÏ¿´Áö¸¸, Áø°ø ü·ù ½Ã°£Àº 5ÃÊ¿¡¼ 40ÃʱîÁö ½ÇÇè¿¡¼ ´Ù¾çÇÏ°Ô ÇÏ¿´´Ù. TAL(time above liquidus) Á¶°ÇÀ» °¡Àå ª°Ô´Â 80ÃÊ, °¡Àå ±æ°Ô´Â 120ÃÊ·Î Ãß°¡ÇÏ¿´´Ù. Áø°ø è¹ö ³»ºÎÀÇ Ã¼·ù ½Ã°£ÀÌ ±æ¼ö·Ï ÇÇÅ© ¿Âµµ°¡ ¾à°£ ³ô¾ÆÁ³´Ù.
ºñ±³¸¦ À§ÇØ Å×½ºÆ® º¸µå¸¦ Ç¥ÁØ(ÁÖº¯ ¾Ð·Â) °Á¦ °ø±â ´ë·ù ¸®ÇÃ·Î¿ì ¿Àºì(10°³ÀÇ È÷ÆÃ Á¸°ú 2°³ÀÇ ³Ã°¢ Á¸)¿¡¼ ¾î¼Àºí¸®ÇÏ¿´´Ù. »ùÇÃÀ» ±×¸² 6°ú °°ÀÌ ~240¢ªCÀÇ ÇÇÅ© ¿Âµµ, 57ÃÊÀÇ TAL±îÁö °¡¿ÇÏ¿´´Ù.
º¸ÀÌµå ºÐ¼® ¹æ¹ý·Ð
¹Ì¼¼ ÇÇÄ¡ÀÇ BGA ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®¿¡ °üÇÑ Áø°ø ¸®Ç÷οì ÇÁ·Î¼¼½ºÀÇ ¿µÇâÀ» Á¶»çÇϱâ À§ÇØ WLCSP49¸¦ ¼±ÅÃÇß´Ù. ¾î¼Àºí¸®µÈ »ùÇÃÀº Dage XD7600 X-Ray À̹Ì¡ ½Ã½ºÅÛÀ» »ç¿ëÇÏ¿© °Ë»çÇß´Ù. X-Ray °Ë»ç °øÁ¤Àº ¹ÝÀÚµ¿ ¹æ½ÄÀ» »ç¿ëÇß´Ù. X-Ray À̹Ì¡ ½Ã½ºÅÛÀº ½ÇÁ¦ º¸À̵å Å©±â¸¦ °áÁ¤ÇÏÁö ¾Ê´Â ´ë½Å, ±ÔÁ¤µÈ ¿µ¿ª(ROI, Region of Interest)ÀÇ ¹éºÐÀ² ¿µ¿ª ºñÀ²·Î½á º¸À̵带 Á¤·®ÈÇÏ´Â µ¥ »ç¿ëÇÏ¿´´Ù. WLCSP ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®ÀÇ °æ¿ì, ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ® °æ°èÀÇ 2D X-ray ¿µ¿ªÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î ROI¸¦ ±ÔÁ¤ÇÏ´Â ÀÚµ¿ÈµÈ ¹æ¹ý¿¡´Â ‘ÇÃ·ÎÆÃ’ ±âÁØÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù. ¿©±â¼ Å©±â°¡ ´Ù¸¥ µÎ °³ÀÇ º¸À̵å´Â Å« º¸À̵尡 ÀÖ´Â Å« ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®°¡ µ¿ÀÏÇÑ ¿µ¿ª ¹éºÐÀ²À» °®°í, º¸À̵尡 ´õ ÀÛÀº À¯»çÇÑ Á¶ÀÎÆ®º¸´Ù ´õ Å« Á¶ÀÎÆ® ¸éÀûÀ» °®°Ô µÈ´Ù. ÇÃ·ÎÆÃ ±âÁØÁ¡À¸·Î ÀÎÇÑ ¿µÇâÀº ¹«½ÃÇÒ ¼ö ÀÖ´Â °ÍÀ¸·Î ¿©°ÜÁø´Ù.

ÇϳªÀÇ Àüü WLCSP ÆÐŰÁö¿¡ °üÇÑ ROI, ´ëºñ, ·¹À̾ƿôÀ» Á¤ÀÇÇÏ¿© functionÀ» Çü¼ºÇϰí, º¸ÀÌµå ¿µ¿ªÀ» °áÁ¤ÇÏ´Â ÀÚµ¿ÈµÈ ¹æ¹ýÀ¸·Î Ȱ¿ëÇß´Ù. ±×·¯³ª ÀÌ ±â¼úÀÇ ´ÜÁ¡Àº ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ® Å©±â°¡ ÀÏ¹Ý Ä¡¼ö¿Í ´Ù¸¥ °æ¿ì ROI¸¦ »ç¿ëÀÚ°¡ Á¤ÀÇÇØ¾ß ÇÑ´Ù´Â °ÍÀÌ´Ù. µû¶ó¼ ±â´ÉÀ» ¿ÏÀüÈ÷ ½Å·ÚÇÒ ¼ö ¾øÀ¸¸ç ´Ù¸£°Ô Á¤ÀÇµÈ ROI¿¡ ´ëºñÇØ ¶§¶§·Î ¼öÁ¤ÇØ¾ß Çß´Ù. ¶ÇÇÑ, ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ® °æ°è¿Í Áß¾Ó ¹æÇâÀÇ ´Ù¾çÇÑ ´ëºñ·Î ÀÎÇØ ¼ÒÇÁÆ®¿þ¾î¿¡¼ ¸ðµç º¸À̵带 ÀνÄÇÏ´Â °ÍÀÌ ¾î·Á¿ü´Ù. µû¶ó¼ WLCSP ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®¸¦ 6°³ ±×·ìÀ¸·Î ºÐ¼®ÇÏ¸é °¡Àå ÀÛÀº º¸À̵带 ½Äº°ÇÏ´Â °ÍÀÌ Æí¸®ÇØ ´õ ³ªÀº °á°ú¸¦ ¾òÀ» ¼ö ÀÖ´Ù°í ÆÇ´ÜµÇ¾ú´Ù. ´©¶ôµÇ°Å³ª À߸øµÈ º¸À̵尡 ±×¸² 7°ú °°ÀÌ ÇÁ·Î¼¼½º Áß¿¡ Ãß°¡µÇ°Å³ª »èÁ¦µÇ¾ú´Ù.
°á°ú
´©Àû º¸À̵带 Æ÷ÇÔÇÑ º¸ÀÌµå ·¹º§ ºÐ¼®Àº ´ÜÀÏ ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®ÀÇ X-ray ¿µ¿ª¿¡¼ ¼öÇàµÇ¾ú´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ¹æ½ÄÀ¸·Î º¸À̵尡 ¾ø´Â ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®´Â ¸Å¿ì Àû¾úÁö¸¸ ¸ðµç °øÁ¤ Á¶°Ç¿¡¼ Á¸ÀçÇÏ¿© ¿¬±¸¿¡¼ ¹èÁ¦ÇÏ¿´´Ù. ENIG Å×½ºÆ® º¸µå¿¡ ¹«¿¬ ¼Ö´õÆäÀ̽ºÆ®¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© Áú¼Ò ȯ°æÀÇ Ç¥ÁØ ´ë·ù ¸®ÇÃ·Î¿ì ¿Àºì¿¡¼ ó¸®µÈ ¸ðµç WLCSP49 »ùÇÃÀº ±×¸² 8°ú °°ÀÌ Á¤»óÀûÀÎ ¼öÁØÀÇ ¼Ö´õ º¸À̵带 »ý¼ºÇß´Ù.
¸®Ç÷οìµÈ »ùÇÿ¡´Â ¹«½ÃÇÒ ¼ö ÀÖ´Â º¸À̵尡 Á¸ÀçÇÑ Á¶ÀÎÆ®, ¿©·¯ °³ÀÇ ÀÛÀº º¸À̵å, ÀÛÀº º¸À̵尡 ÀÖ°í °£È¤ Çϳª ¶Ç´Â µÎ °³ÀÇ Å« º¸À̵尡 ÀÖ´Â Á¶ÀÎÆ®ÀÇ Á¶ÇÕÀ¸·Î ±¸¼ºµÇ¾ú´Ù. °¡Àå Å« °³º° ±âü º¸À̵å´Â ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ® ¿µ¿ªÀÇ 18%ÀÎ °ÍÀ¸·Î °üÂûµÇ¾úÀ¸¸ç ´ÜÀÏ ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®ÀÇ ÃÖ´ë ´©Àû º¸À̵å Å©±â´Â 18.1%¿´´Ù.
Áø°ø ¸®Ç÷οìµÈ »ùÇÃÀº ±×¸² 9¿Í ±×¸² 10¿¡ ¹¦»çµÈ °Íó·³ ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ® º¸À̵å Å©±â°¡ 1¿¡¼ 120Torr »çÀÌÀÇ Áø°ø ¾Ð·Â°ú »ó°ü¾øÀÌ ÀϰüµÇ°Ô À¯ÁöµÇ´Â Èï¹Ì·Î¿î °á°ú¸¦ º¸¿´´Ù. X-·¹ÀÌ À̹ÌÁö¿¡¼´Â ¶ÇÇÑ Áø°ø ¸®ÇÃ·Î¿ì ¿ÀºìÀ¸·Î ¾î¼Àºí¸®µÈ »ùÇÃÀÇ ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ® ºê¸®ÁöÀÇ ÀνºÅϽº¸¦ º¸¿©ÁÖ¾ú´Ù. ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ® ºê¸®Áö´Â ´Ü¶ô °áÇÔÀ» À¯¹ßÇϰí, Áø°ø °øÁ¤À¸·Î ÀÎÇØ ÀÌ·¯ÇÑ Àü±âÀû °áÇÔÀÌ ¹ß»ýÇÑ´Ù´Â °ÍÀÌ ºÐ¸íÇÏ´Ù. ´ÜÀÏ ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®¿¡¼ °üÂûµÈ °¡Àå Å« ´©Àû º¸À̵å´Â 25%¿´À¸¸ç Áø°ø ¸®Ç÷οìµÈ »ùÇà Áß ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®ÀÇ X-·¹ÀÌ ¿µ¿ªÀÇ 21%¿¡¼ ÃÖ´ë °³º° º¸À̵尡 ÃøÁ¤µÇ¾úÀ¸¸ç, ÀÌ´Â IPC-A-610G[14]¸¦ ÁؼöÇÑ´Ù. BGA Á¶ÀÎÆ®ÀÇ º¸À̵带 30%·Î ÁÙÀδÙ.

±×¸² 11¿¡¼ WLCSP49 ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®¿¡ ´ëÇÑ ¿©·¯ ÇÁ·Î¼¼½º Á¶°Ç °£¿¡ ´©Àû ¸éÀû%°¡ ¾Æ´Ñ °³º° º¸À̵å Å©±âÀÇ ºÐÆ÷¸¦ ºñ±³ÇÑ °á°ú¸¦ º¸¿©ÁÖ°í ÀÖ´Ù. Ç¥ÁØ ¸®ÇÃ·Î¿ì ¿Àºì¿¡¼ ó¸®µÈ »ùÇÃÀº 760Torr, 0ÃʷΠǥ½ÃµÇ¾ú´Ù. µ¥ÀÌÅÍ¿¡¼´Â Áø°ø 󸮵ÇÁö ¾ÊÀº ¾î¼Àºí¸®°¡ °¡Àå ¸¹Àº ¼öÀÇ º¸À̵带 °¡Áö°í ÀÖÀ¸¸ç, ´ëºÎºÐÀÌ ÃÑ ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ® ¿µ¿ªÀÇ 5% ¹Ì¸¸À¸·Î ÃøÁ¤µÇ¾úÀ½À» º¸¿©ÁÖ¾ú´Ù. ¶ÇÇÑ ¾Ð·ÂÀÌ ´ë±â¾Ð(760Torr)¿¡¼ 1Torr·Î °¨¼ÒÇÔ¿¡ µû¶ó ÃÑ º¸À̵åÀÇ ¾çÀÌ ¾à°£ÀÇ °¨¼ÒÇß´Ù.
¾Ð·ÂÀÌ ³·¾ÆÁü¿¡ µû¶ó ±×¸² 11¿¡¼´Â ÀÛÀº º¸À̵å(1~5%)ÀÇ ¼ö°¡ ÁÙ¾îµå´Â Çö»óÀº ÀÌµé º¸À̵å Áß ¸¹Àº ¼ö°¡ ÇÕÃÄÁ® Áß°£ º¸À̵å(6~10%)¸¦ Çü¼ºÇÑ´Ù´Â Á¡ ¶§¹®À̸ç, ÀÌ·¯ÇÑ ¸ð½ÀÀº 6~10%ÀÇ ¾Ë¸ÂÀº Å©±âÀÇ º¸ÀÌµå ¼ºÀåÀÌ È®½ÇÇØ º¸¿´´Ù. ¶ÇÇÑ, Å« º¸À̵å(>10%)ÀÇ ¼ö´Â ¾Ð·Â Ç϶ô¿¡ µû¸¥ »ó´ëÀûÀ¸·Î ÀÏÁ¤ÇÑ ¸ð½ÀÀ» º¸¿´´Ù. Áø°ø ÇÁ·Î¼¼½º µ¿¾È Á¶ÀÎÆ®¿¡¼ ºüÁ®³ª¿Â ±âÁ¸ÀÇ Å« º¸À̵å¿Í ´õ ÀÛÀº º¸À̵尡 ´õ Å« º¸À̵å·Î ÇÕÃÄÁö´Â °ÍÀ¸·Î ´ëüµÇ¾î ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®¿¡ ¿©ÀüÈ÷ Å« º¸À̵尡 ³²¾Æ ÀÖ´Ù´Â »ç½ÇÀ» È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù.
WLCSP49 ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®ÀÇ ´©Àû º¸À̵å´Â ¼·Î ´Ù¸¥ ÇÁ·Î¼¼½º Á¶°Ç¿¡¼ ºÐ¼®µÇ¾úÀ¸¸ç ±×¸² 12¿¡¼´Â Áø°ø 󸮰¡ Àüü ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ® º¸À̵忡 °ÅÀÇ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡Áö ¾Ê´Â´Ù´Â °ÍÀ» º¸¿©ÁÖ¾ú´Ù.
´Ù¾çÇÑ °øÁ¤ Á¶°Ç¿¡ °ÉÃļ ¹ß»ýÇÑ ºê¸´ÁöÀÇ ¼ö´Â ±×¸² 13¿¡ Á¤¸®µÇ¾î ÀÖ´Ù. µ¥ÀÌÅÍ¿¡ Ưº°ÇÑ °æÇâÀÌ ¾ø´Â °Íó·³ º¸ÀÌÁö¸¸ ¼Ö´õ ºê¸´ÁöÀÇ ¹ß»ýÀº ÀϹÝÀûÀ¸·Î ¾Ð·Â Ç϶ô¿¡ µû¶ó ´Ã¾î³ª´Â ¸ð½ÀÀ» º¸¿´´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ºê¸´Áö´Â Áø°ø ¸®Ç÷οì ÇÁ·Î¼¼½º µ¿¾È ÀÎÁ¢ÇÑ ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®°¡ ¼·Î ¹°¸®ÀûÀ¸·Î Á¢ÃËÇÏ´Â ÁöÁ¡±îÁö ÆØÃ¢ÇØÁø °á°úÀÌ´Ù. ÀÌ´Â ¶ÇÇÑ ±×¸² 10¿¡¼ º¸´Â ¹Ù¿Í °°ÀÌ ´Ü¶ôµÈ ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®°¡ ºê¸´ÁöÀÇ °á°ú·Î ºüÁ®³ª°¥ ¶§ º¸À̵带 Æ÷ÇÔÇÏÁö ¾Ê´Â´Ù´Â Á¡¿¡¼ ÀÌÇØÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ´Ã¾î³ ºê¸´Áö °áÇÔ ¹ß»ýÀÇ È¿°ú´Â Áø°ø ¸®ÇÃ·Î¿ì °øÁ¤ÀÌ Á¾Á¾ ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ® ºê¸´Áö¸¦ »ý¼ºÇϱ⠶§¹®¿¡ ¾Ð·ÂÀÌ ÁÙ¾îµê¿¡ µû¸¥ º¸ÀÌµå ¼ö °¨¼Ò¿¡ ±â¿©ÇÑ´Ù.
Áø°ø ¸®ÇÃ·Î¿ì °øÁ¤ÀÌ ÆÄÀÎ ÇÇÄ¡ WLCSP µð¹ÙÀ̽º ŸÀÔ¿¡¼ ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ® ºê¸´ÁöÀÇ ¿øÀÎÀÎ °ÍÀ¸·Î ³ªÅ¸³µÁö¸¸, ¾î¼Àºí¸® °øÁ¤¿¡ »ç¿ëµÈ ¼Ö´õ ÆäÀ̽ºÆ®µµ ÀÌ °áÇÔÀÇ ¿øÀÎÀÎ °ÍÀ¸·Î ¹àÇôÁ³´Ù. Ç÷°½º µðÇÎ ¶Ç´Â Ç÷°½º Àμ⠰øÁ¤(ÆäÀ̽ºÆ® ¾øÀ½)À» »ç¿ëÇÏ¿© 20ÃÊÀÇ Ã¼·ù ½Ã°£À¸·Î 20Torr ¾Ð·Â¿¡¼ »ùÇÃÀ» ¾î¼Àºí¸®ÇßÀ» ¶§, ó¸®µÈ »ùÇÃÀº ¼ö¿Í Å©±â ¸é¿¡¼ »ó´ëÀûÀ¸·Î ³·Àº º¸À̵带 °®´Â °Í¿Ü¿¡ ºê¸´Áö °áÇÔÀÌ ¾ø¾ú´Ù(¼Ö´õ ÀÌ¿ë ¾î¼Àºí¸®µÈ »ùÇðú ºñ±³ÇßÀ» ¶§).
Ź»óÇü ¿Àºì ½ÇÇè ¼³°è
ÆÄÀÎ ÇÇÄ¡ ¹üÇÁ ºÎǰÀÇ ¼Ö´õ º¸À̵å´Â Áø°ø ÆÄ¶ó¹ÌÅÍ¿¡ Å©°Ô ÀÇÁ¸ÇÏÁö ¾Ê´Â ¹Ý¸é(±×¸² 12 ÂüÁ¶) ¼Ö´õ ºê¸´ÁöÀÇ ¹ß»ýÀº ¾Ð·Â Ç϶ô¿¡ µû¶ó Áõ°¡ÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î º¸ÀδÙ(±×¸² 13 ÂüÁ¶). º¸À̵å Çü¼º °øÁ¤À» ÀÚ¼¼È÷ »ìÆìº¸±â À§ÇØ °üÂû Æ÷Æ®°¡ Àִ Ź»óÇü ¸®ÇÃ·Î¿ì ¿ÀºìÀ» »ç¿ëÇß´Ù. ÀÌ ½ÇÇè ÀåÄ¡´Â ¾×ü »óÅÂÀÇ ¶«³³À¸·Î ³ôÀº Áø°ø »óŸ¦ Çü¼ºÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù. ºñ¿öÁø »óÅ¿¡¼ È®´ëµÈ º¸À̵å´Â Áø°ø »óÅ¿¡ ÀÖ´Â µ¿¾È ‘³Ã°¢’À» À¯ÁöÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù. À̰ÍÀº ´ë±â¾ÐÀÌ ÀÀ°í Àü¿¡ Ç×»ó º¹¿øµÇ´Â »ý»ê ÀζóÀÎ Áø°ø ¸®ÇÃ·Î¿ì ¿Àºì¿¡¼´Â ºÒ°¡´ÉÇß´Ù. ÇÊ¿äÇÑ °æ¿ì Ź»óÇü ¼Ö´õ »ùÇÃÀ» Áø°ø ÇØÁ¦ÇÏ¿© À¯»çÇÏ°Ô ÀÀ°íÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
Å×½ºÆ® ¼³Á¤
Ź»óÇü °üÂû ½ÇÇè¿¡¼´Â Áø°ø ¶Ç´Â ºñÁø°ø °øÁ¤¿¡¼ º¸À̵åÀÇ Çü¼º, ¼ºÀå ¿ªÇÐ ¹× ÁøÈ¸¦ Á¶»çÇß´Ù. Å×½ºÆ® ¼³Á¤ÀÇ ÁÖ¿ä ±¸¼º ¿ä¼Ò´Â ±×¸² 14¿¡ ³ª¿Í ÀÖ´Ù. Ź»óÇü ¿ÀºìÀº »ó´Ü¿¡ À¯¸® ºäÆ÷Æ®°¡ ÀÖ´Â ¾Ë·ç¹Ì´½ ºí·ÏÀ¸·Î ±¸¼ºµÇ¾î ÀÖ´Ù. PID ÄÁÆ®·Ñ·¯´Â ÀÚµ¿ Æ©´×À» ÅëÇØ ¼³Á¤ ¿Âµµ·Î ·¥ÇÁÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ±â´ÉÀÌ ÀÖ´Ù. ¹Ý´ë·Î ·¥ÇÁ ¼Óµµ´Â ¼öµ¿À¸·Î Á¶ÀýÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ¿Àºì è¹ö´Â ÀζóÀÎ ·¹±Ö·¹ÀÌÅͰ¡ ÀÖ´Â À¯·®°è¿¡ ¿¬°áµÇ¾î °ø±â/N2 À¯ÀÔÀ» Á¶ÀýÇϰí Áø°ø ÆßÇÁ´Â ¾Ð·Â °ÔÀÌÁö¿¡ ¿¬°áµÇ¾ú´Ù. Áø°ø ¾Ð·ÂÀº ÀζóÀÎ ¹ëºê¸¦ »ç¿ëÇÏ¿© ¼öÁ¤µÈ´Ù. ¼Ö´õ º¸ÀÌµå °üÂû ½ÇÇèÀº °ø±â ¶Ç´Â N2 ȯ°æ¿¡¼ ¼öÇàµÇ¾ú´Ù.
Å×½ºÆ® °á°ú
ÀÌ ÇÁ·Î¼¼½º´Â Ç¥ÁØ ½ºÅ©¸°ÇÁ¸°Å͸¦ »ç¿ëÇÏ¿© PCBÀÇ ºÎǰ DzÇÁ¸°Æ®¿¡ ¼Ö´õ ÆäÀ̽ºÆ®¸¦ ÀμâÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î ½ÃÀÛÇÑ ´ÙÀ½ ¹ÐºÀµÈ ¿Àºì è¹ö·Î ¿Å±â±â Àü¿¡ ÇÁ¸°Æ®µÈ ¼Ö´õ¿¡ ºÎǰÀ» ¼öµ¿À¸·Î ¹èÄ¡ÇÏ¿´´Ù. ±×·± ´ÙÀ½ Áø°ø/¿Âµµ ÇÁ·ÎÆÄÀÏ·Î »ùÇÃÀ» ¸®Ç÷οìÇÒ ¼ö ÀÖ¾ú´Ù. Ź»óÇü Áø°ø °øÁ¤À¸·Î ½ÇÇàµÇ´Â »ùÇÃÀº ¸®Ç÷οìµÇ°í Áø°ø »óÅ¿¡¼ ³Ã°¢µÇ¾î ¿©ÀüÈ÷ È®´ëµÈ »óÅÂÀÇ º¸À̵尡 ÀÖ´Â ¼Ö´õ¸¦ ÀÀ°í½ÃŲ´Ù. ºñÁø°ø ÇÁ·Î¼¼½º¿¡¼ »ùÇÃÀº Áø°ø ¾øÀÌ ¸®ÇÃ·Î¿ì ¹× ÀÀ°íµÇ´Â ±âÁ¸ÀÇ ´ë±â¾Ð ¸®Ç÷οì ÇÁ·Î¼¼½º¸¦ Àû¿ëÇÏ¿´´Ù.
WLCSP Å×½ºÆ® ºÎǰÀÌ 200~250Torr ¹üÀ§¿¡¼ ¸®Ç÷οìµÇ°í ÀÀ°íµÇ¸é °á°ú º¸À̵尡 ´õ Ä¿Áø´Ù. ÀÌ Áø°ø ¼öÁØ¿¡¼ ĸóµÈ º¸À̵å Å©±â´Â ±×¸² 16¿¡ ³ª¿Í ÀÖ´Ù. 50Torr¿¡¼ ĸóµÈ º¸À̵å´Â ¾ÆÁ÷ ´õ Å©´Ù(±×¸² 15¿Í ±×¸² 16 ºñ±³).
ÀÀ°í Àü¿¡ Áø°øÀÌ ÇØÁ¦µÈ °æ¿ì ÀÌ·¯ÇÑ º¸À̵å Áß ÀϺΰ¡ ºüÁ®³ª°¬À» ¼ö ÀÖ´Ù. À¯»çÇϰÔ, 50Torr¿¡¼ Çü¼ºµÈ ¼Ö´õ ºê¸´Áö°¡ ³²¾Æ Àְųª ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®°¡ ÀÀ°í Àü¿¡ ´ë±â¾ÐÀÌ º¹¿øµÈ °æ¿ì º¸À̵尡 ÇØÁ¦µÈ ¿ø·¡ À§Ä¡·Î µÇµ¹¾Æ°¬À» °¡´É¼ºÀÌ ÀÖ´Ù.
ÆÄÀÎ ÇÇÄ¡ ºÎǰÀÌ Áø°ø ¸®ÇÃ·Î¿ì °øÁ¤¿¡¼ ´õ Å« º¸À̵å¿Í ºê¸´Áö °áÇÔÀ» °¡Áú ¼ö ÀÖ´Ù´Â »ç½ÇÀÌ È®¸³µÇ¾úÀ¸¹Ç·Î, ´ÙÀ½ Áú¹®Àº º¸À̵尡 ¾ó¸¶³ª Ä¿Áú ¼ö ÀÖ°í ÇÇÄ¡°¡ ºê¸´Áö¸¦ ÇÇÇÒ ¼ö ÀÖÀ» ¸¸Å ÃæºÐÈ÷ Å« Áö°¡ µÈ´Ù.
»ç¿ë °¡´ÉÇÑ °¡Àå Å« ÇÇÄ¡ÀÎ 1.27mm ÇÇÄ¡ ºÎǰÀ» ¼±ÅÃÇÏ¿© º¸ÀÌµå ¹× ºê¸´Áö °Åµ¿À» Á¶»çÇϰí ÀÌ·¯ÇÑ »ùÇÃÀ» ¼ö¸®/ÀçÀÛ¾÷À¸·Î ó¸®Çß´Ù. ÀçÀÛ¾÷ °øÁ¤¿¡´Â Ç÷°½º°¡ Æ÷ÇÔµÇÁö ¾Ê¾ÒÀ¸¸ç »ùÇÃÀº ´ë±â ȯ°æ¿¡¼ ÀçÀ¯µ¿µÇ¾ú´Ù. »ùÇÃÀº ´ë·ù ¿Àºì¿¡¼ ¾î¼Àºí¸®µÈ ´ÙÀ½, Ź»óÇü ¿Àºì¿¡¼ µÎ ¹øÂ°·Î ¸®Ç÷οìµÇ¾ú´Ù. ÀÌ¹Ì Á¸ÀçÇÏ´Â º¸À̵å(ù ¹øÂ° ¸®Ç÷ο쿡¼)¸¦ ÀÌÇØÇϱâ À§ÇØ »ùÇÃÀ» ÀÌ·± ¹æ½ÄÀ¸·Î ó¸®Çß´Ù. ÄÁº¤¼Ç ¸®ÇÃ·Î¿ì ¿Àºì¿¡¼ ¾î¼Àºí¸®µÈ »ùÇÿ¡´Â º¸À̵尡 °ÅÀÇ ¾øÁö¸¸ ±×¸² 17ÀÇ ¿ÞÂÊ¿¡ Ç¥½ÃµÈ X-·¹ÀÌ À̹ÌÁö¿¡´Â º¸ÀÌÁö ¾ÊÀ» Á¤µµ·Î ÀÛ¾Ò´Ù. Å丣(Torr) ¹× Á¦ÀÚ¸® µ¿°á, º¸À̵尡 ¸íÈ®ÇÏ°Ô º¸¿´´Ù. ÀÌµé º¸À̵尡 Å©Áö¸¸ ºê¸´Áö °áÇÔÀ» Çü¼ºÇÒ ¸¸Å ÃæºÐÈ÷ Å©Áö ¾ÊÀ¸¸ç ÀÀ°í Àü¿¡ Áø°øÀÌ ÇØÁ¦µÇ¸é ÀÌ·¯ÇÑ º¸À̵å´Â ±âº»ÀûÀ¸·Î ¾Æ¹«°Íµµ ÁÙ¾îµéÁö ¾Ê°Å³ª ºüÁ®³ª°¥ ¼ö ÀÖ´Â °¡½º·Î ÀÎÇØ ´Ü¼øÈ÷ ÀÛ¾ÆÁú ¼ö ÀÖ´Ù.

µ¿ÀÏÇÑ ¶óÀο¡¼, Çϳª ÀÌ»óÀÇ »ùÇÃÀÌ 50Torr¿¡¼ ¸®¿÷µÇ¾úÀ¸¸ç º¸À̵尡 ÀÌÀü ½ÇÇ躸´Ù ´õ Å« °ÍÀ¸·Î °üÂûµÇ¾ú´Ù(±×¸² 18 ÂüÁ¶). ¿©±â¿¡¼ ¾î¼Àºí¸®¿¡ »ç¿ëµÈ ¼Ö´õ ±¸Ã¼ÀÇ °øÇ¥µÈ Á÷°æÀº 30mil(0.76mm)ÀÌ´Ù. µû¶ó¼ ÀÚÀ¯ ºÎµ¿ ¼Ö´õ º¼ÀÇ Á÷°æÀº 0.76mmÀÌ´Ù. º¸À̵尡 ¾ø´Â °æ¿ì, ¼öÄ¡´Â ÇØ´ç ¼öÄ¡¿¡ ´õ °¡±î¿ö¾ß Çϸç, ÀÌ´Â º¸À̵尡 ¾ø´Â Á÷°æ 0.72mmÀÇ ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®¿¡¼ ºÐ¸íÇÏ°Ô ³ª¿Â´Ù. ¶ÇÇÑ Á÷°æÀÌ 1mm ÀÌ»óÀÎ Á¶ÀÎÆ®ÀÇ °æ¿ì°¡ °ÅÀÇ ¾øÀ¸¸ç, ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®ÀÇ Àüü X-·¹ÀÌ ¿µ¿ª¿¡ °ÅÀÇ °ÉÃÄ ÀÖ´Â º¸À̵尡 ÀÖÀ¸¸ç ´Ü¸éÀº °Å´ëÇÑ º¸ÀÌµå ¿µ¿ªÀ» È®ÀÎÇÑ´Ù. ±×·¯³ª 50Torr ¾Ð·Â¿¡¼ ÀÌ ÇÇÄ¡¿¡ ´ëÇÑ ¼Ö´õ ºê¸´Áö´Â ¾ø¾ú´Ù.

¾Ð·ÂÀÌ 20Torr·Î ´õ ³·¾ÆÁ³À» ¶§ ÀÎÁ¢ÇÑ µÎ Á¶ÀÎÆ®°¡ ºê¸´ÁöµÇ¾ú´Ù. ¸®Ç÷οì ÀüÈÄ À̹ÌÁö´Â ±×¸² 19¿¡ ³ª¿Í ÀÖ´Ù. ºñ¿öÁø ¸®ÇÃ·Î¿ì °øÁ¤ µ¿¾È ¼Ö´õ ºê¸´Áö¸¦ Çü¼ºÇßÀ½¿¡µµ ºÒ±¸Çϰí ÀζóÀÎ Áø°ø ¸®ÇÃ·Î¿ì ¿Àºì »ý»ê¿¡¼¿Í °°ÀÌ ÀÀ°í Àü¿¡ ´ë±â¾ÐÀÌ º¹¿øµÇ¸é ºê¸´Áö°¡ ºÐ¸®µÉ ¼ö ÀÖ´Ù. ¶ÇÇÑ ±×¸² 19ÀÇ ¿À¸¥ÂÊ À̹ÌÁö(Áø°ø ¸®¿÷ ÈÄ)¿¡¼ µÎ °³ÀÇ ÀÎÁ¢ÇÑ ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®´Â ÀÌ ÇÇÄ¡¿¡¼µµ °Å´ëÇÑ Å©±âÀÇ º¸À̵å·Î ÀÎÇØ °ÅÀÇ ºê¸´ÁöµÇ¾ú´Ù. ÀÌ´Â ÀÛÀº º¸ÀÌÀ¸°¡ Å« º¸À̵å·Î ÇÕÃÄÁ® ±âº»ÀûÀ¸·Î ½Ã½ºÅÛÀ» ¶°³ªÁö ¾Ê´Â °æ¿ì Áß ÇϳªÀÏ ¼ö ÀÖ´Ù. ºüÁ®³ª°¡·Á¸é ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®ÀÇ °æ°è¿¡ µµ´ÞÇÒ ¼ö ÀÖÀ» ¸¸Å ÃæºÐÈ÷ Ä¿¾ß ÇÑ´Ù. º¸À̵尡 ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®ÀÇ Áß¾Ó ¶Ç´Â °¡ÀåÀÚ¸®¿¡ ÀÖ´Â °æ¿ì, ÀÌ·¯ÇÑ º¸À̵尡 ÃæºÐÈ÷ Ä¿ÁöÁö ¾Ê°í ¿òÁ÷ÀÌÁö ¾ÊÀ» °¡´É¼ºÀÌ ÀÖ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ º¸À̵å´Â ¾Æ¹« µ¥µµ °¡Áö ¾Ê°í Áø°ø »óÅ¿¡¼ ¼ºÀåÇÏ°í ´ë±â¾ÐÀ¸·Î º¹¿øµÇ¸é ¼öÃàÇÑ´Ù.
°á·Ð
°¡½º º¸À̵å´Â óÀ½¿¡´Â Á¸ÀçÇÏÁö ¾Ê°í ÀÖ´Ù°¡ ¿ëÀ¶ ±Ý¼Ó¿¡¼ Çü¼ºµÉ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç, ¾Ð·ÂÀÌ ÁÙ¾îµê¿¡ µû¶ó Á¡Á¡ ´õ ¸¹Àº ÇÙ »ý¼º »çÀÌÆ®¿¡¼ °¡½º °ÅǰÀ» »ý¼º ¹× ¹æÃâÇÒ ¼ö ÀÖ°Ô µÈ´Ù. ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ® º¸À̵å´Â Áø°ø ¸®Ç÷οì·Î Á¦°ÅÇÒ ¼ö ¾ø´Ù. Áø°ø ¸®Ç÷οì ÇÁ·Î¼¼½º´Â ¶ÇÇÑ ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ® ºê¸´ÁöÀÇ ÇüÅ·Π¿µ¿ª ¾î·¹ÀÌ ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®¿¡ °áÇÔÀ» ÀÏÀ¸Å³ ¼ö ÀÖ´Ù. °øÁ¤ Àü¹Ý¿¡ °ÉÃÄ ÀÛÀº º¸À̵尡 ¸¸¿¬ÇÏ´Ù. ¼Ò¼öÀÇ º¸À̵尡 Å« º¸À̵å·Î ÇÕÃÄÁ® ¾ø¾îÁö´Â ¹Ý¸é, ´Ù¸¥ º¸À̵å´Â Á¶ÀÎÆ®¿¡ °¤Èù »óÅ·Π³²À» ¼ö ÀÖ´Ù. º¸À̵å´Â Áø°ø ¸®ÇÃ·Î¿ì °øÁ¤¿¡¼ ´Ã¾î³ªÁö¸¸ ´ë±â¾ÐÀÌ º¹¿øµÇ¸é ´Ù½Ã ¼öÃàÇÑ´Ù.
Áø°ø ¸®Ç÷οì ÇÁ·Î¼¼½º´Â WLCSP49 ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ®ÀÇ ´©Àû º¸À̵å(2Â÷¿ø ÇÁ·ÎÁ§¼Ç)¿¡ °ÅÀÇ ¿µÇâÀ» ¹ÌÄ¡Áö ¾Ê¾Ò´Ù. BGA Á¢ÇÕÀ» À§ÇÑ ¼Ö´õ ÆäÀ̽ºÆ®ÀÇ »ç¿ëÀº Áø°ø ¸®ÇÃ·Î¿ì °øÁ¤¿¡¼ ¼Ö´õ Á¶ÀÎÆ® ºê¸´ÁöÀÇ ¹ß»ýÀ» ´Ã¸°´Ù. Ç÷°½º-µðÇÎ °øÁ¤À» »ç¿ëÇÏ¿© ¾î¼Àºí¸®µÈ »ùÇÃÀº ºê¸´ÁöµÇÁö ¾Ê¾ÒÀ¸¸ç, ÀÌ´Â ¾Æ¸¶µµ Ç÷°½º Àü¿ë ¾î¼Àºí¸® °øÁ¤ÀÌ º¸À̵带 »ý¼ºÇÏÁö ¾Ê¾Ò±â ¶§¹®À̶ó°í ¿¹»óÇÑ´Ù.