Ȩ   >   SMT Paradigm ÀÌ ±â»çÀÇ ÀԷ½ð£ : 2023-03-01 (¼ö) 3:42:58
¾îÇöóÀÌµå ¸ÓÆ¼¾î¸®¾óÁî, »õ·Î¿î ÀüÀÚºö À̹Ì¡ ±â¼ú ¹ßÇ¥
2023-03  
¸ñ·Ï Å©°Ô ÀÛ°Ô Àμâ


 
³ÃÀü°è ¹æÃâ(CFE) ±â¼ú »ó¿ëÈ­     
¾îÇöóÀÌµå ¸ÓÆ¼¾î¸®¾óÁî(www.appliedmaterials.com/ko)°¡ ÀüÀÚºö(eBeam) À̹Ì¡ÀÇ Çõ½ÅÀÎ ‘³ÃÀü°è ¹æÃâ(CFE, Cold Field Emission)’ ±â¼úÀ» »ó¿ëÈ­Çß´Ù°í ¹àÈ÷°í, CFE ±â¼ú ±â¹Ý ÀüÀÚºö ½Ã½ºÅÛ ‘SEMºñÀü G10(SEMVisionⓇ G10)’, ‘ÇÁ¶óÀÓºñÀü 10(PrimeVisionⓇ 10)’ 2Á¾À» Ãâ½ÃÇß´Ù°í µ¡ºÙ¿´´Ù. ÀÌ È¸»ç °ü°èÀÚ´Â “CFE ±â¼úÀ» ÅëÇØ °í°´µéÀº ³ª³ë¹ÌÅÍ ´ÜÀ§ÀÇ ±âÀúºÎ °áÇÔ¿¡ ´ëÇÑ °Ë»ç ¹× À̹Ì¡ ÀÛ¾÷À» Çâ»ó½Ãų ¼ö ÀÖ´Ù. ÀÌ ±â¼úÀÇ »ó¿ëÈ­·Î Â÷¼¼´ë GAA(Gate-All-Around) ·ÎÁ÷ ĨÀº ¹°·Ð °íÁýÀûµµ D·¥, 3D ³½µå ¸Þ¸ð¸® °³¹ß ¹× »ý»ê ¼Óµµ°¡ Å©°Ô »¡¶óÁú Àü¸ÁÀÌ´Ù”°í Æò°¡Çß´Ù.  ¾îÇöóÀ̵å´Â ÀüÀÚºö ¹æÃâ±â¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ ÇÙ½É ÄÄÆ÷³ÍÆ®·Î ±¸¼ºµÈ µ¶º¸ÀûÀÎ ÃʰíÁø°ø ÀüÀÚºö Ä÷³À» °³¹ßÇß´Ù. ÀÌ »õ·Î¿î CFE Ä÷³Àº ±ØµµÀÇ ÃʰíÁø°ø ¿î¿µ ȯ°æ¿¡¼­µµ ¿À¿° ¹°ÁúÀ» ÇöÀúÈ÷ ³·Ãߴ Ư¼ö °³¹ß è¹ö ¼ÒÀ縦 °áÇÕÇß´Ù. Ư¼ö ÆßÇÁ¸¦ ÅëÇØ 1x10-11¹Ð¸®¹Ù¸¦ ÈξÀ ¹Øµµ´Â Áø°ø »óŸ¦ À¯ÁöÇϵµ·Ï Áö¿øÇϸç, ÀÌ ¼öÄ¡´Â TFE ½Ã½ºÅÛ¿¡ ºñÇØ 2~3ÀÚ¸´¼ö(¼ö½Ê¿¡¼­ ¼ö¹é ¹è) Çâ»óµÈ °ÍÀ¸·Î ¿ìÁÖÀÇ Áø°ø »óÅÂ¿Í À¯»çÇÏ´Ù. ±ØµµÀÇ ÃʰíÁø°ø »óÅ¿¡¼­µµ ÀüÀÚºö Ä÷³¿¡ ±Ø¹Ì·®ÀÇ ÀÜ·ù °¡½º°¡ Çü¼ºµÉ ¼ö ÀÖ´Ù. 
[ÀúÀÛ±ÇÀÚ(c)SG¹Ìµð¾î. ¹«´ÜÀüÀç-Àç¹èÆ÷±ÝÁö]
¸ñ·Ï Å©°Ô ÀÛ°Ô





100ÀÚÆò ¾²±â
     
( Byte)
 
¹Ìµð¾îÁ¤º¸ | °³ÀÎÁ¤º¸Ãë±Þ¹æÄ§ | À̸ÞÀÏÁÖ¼Ò ¹«´Ü¼öÁý °ÅºÎ | ¿Â¶óÀι®ÀÇ
SG¹Ìµð¾î | ´ëÇ¥ÀÌ»ç : °­Èñ¸í | »ç¾÷ÀÚµî·Ï¹øÈ£ : 119-10-75482
(08639) ¼­¿ï½Ã ±Ýõ±¸ ½ÃÈï´ë·Î 97 | ÀüÈ­ : 02-808-7411 ÆÑ½º : 02-808-7412
Copyright ¨Ï SG¹Ìµð¾î All rights reserved.