³ÃÀü°è ¹æÃâ(CFE) ±â¼ú »ó¿ëÈ
¾îÇöóÀÌµå ¸ÓÆ¼¾î¸®¾óÁî(www.appliedmaterials.com/ko)°¡ ÀüÀÚºö(eBeam) À̹Ì¡ÀÇ Çõ½ÅÀÎ ‘³ÃÀü°è ¹æÃâ(CFE, Cold Field Emission)’ ±â¼úÀ» »ó¿ëÈÇß´Ù°í ¹àÈ÷°í, CFE ±â¼ú ±â¹Ý ÀüÀÚºö ½Ã½ºÅÛ ‘SEMºñÀü G10(SEMVisionⓇ G10)’, ‘ÇÁ¶óÀÓºñÀü 10(PrimeVisionⓇ 10)’ 2Á¾À» Ãâ½ÃÇß´Ù°í µ¡ºÙ¿´´Ù. ÀÌ È¸»ç °ü°èÀÚ´Â “CFE ±â¼úÀ» ÅëÇØ °í°´µéÀº ³ª³ë¹ÌÅÍ ´ÜÀ§ÀÇ ±âÀúºÎ °áÇÔ¿¡ ´ëÇÑ °Ë»ç ¹× À̹Ì¡ ÀÛ¾÷À» Çâ»ó½Ãų ¼ö ÀÖ´Ù. ÀÌ ±â¼úÀÇ »ó¿ëÈ·Î Â÷¼¼´ë GAA(Gate-All-Around) ·ÎÁ÷ ĨÀº ¹°·Ð °íÁýÀûµµ D·¥, 3D ³½µå ¸Þ¸ð¸® °³¹ß ¹× »ý»ê ¼Óµµ°¡ Å©°Ô »¡¶óÁú Àü¸ÁÀÌ´Ù”°í Æò°¡Çß´Ù. ¾îÇöóÀ̵å´Â ÀüÀÚºö ¹æÃâ±â¸¦ Æ÷ÇÔÇÑ ÇÙ½É ÄÄÆ÷³ÍÆ®·Î ±¸¼ºµÈ µ¶º¸ÀûÀÎ ÃʰíÁø°ø ÀüÀÚºö Ä÷³À» °³¹ßÇß´Ù. ÀÌ »õ·Î¿î CFE Ä÷³Àº ±ØµµÀÇ ÃʰíÁø°ø ¿î¿µ ȯ°æ¿¡¼µµ ¿À¿° ¹°ÁúÀ» ÇöÀúÈ÷ ³·Ãߴ Ư¼ö °³¹ß è¹ö ¼ÒÀ縦 °áÇÕÇß´Ù. Ư¼ö ÆßÇÁ¸¦ ÅëÇØ 1x10-11¹Ð¸®¹Ù¸¦ ÈξÀ ¹Øµµ´Â Áø°ø »óŸ¦ À¯ÁöÇϵµ·Ï Áö¿øÇϸç, ÀÌ ¼öÄ¡´Â TFE ½Ã½ºÅÛ¿¡ ºñÇØ 2~3ÀÚ¸´¼ö(¼ö½Ê¿¡¼ ¼ö¹é ¹è) Çâ»óµÈ °ÍÀ¸·Î ¿ìÁÖÀÇ Áø°ø »óÅÂ¿Í À¯»çÇÏ´Ù. ±ØµµÀÇ ÃʰíÁø°ø »óÅ¿¡¼µµ ÀüÀÚºö Ä÷³¿¡ ±Ø¹Ì·®ÀÇ ÀÜ·ù °¡½º°¡ Çü¼ºµÉ ¼ö ÀÖ´Ù.